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B81B 1/00
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Dispositifs sans éléments mobiles ou flexibles, p.ex. dispositifs capillaires microscopiques |
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B81B 3/00
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Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques |
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B81B 5/00
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Dispositifs comportant des éléments mobiles les uns par rapport aux autres, p.ex. comportant des éléments coulissants ou rotatifs |
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B81B 7/00
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Systèmes à microstructure |
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B81B 7/02
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Systèmes à microstructure comportant des dispositifs électriques ou optiques distincts dont la fonction a une importance particulière, p.ex. systèmes micro-électromécaniques (SMEM, MEMS) |
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B81B 7/04
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Réseaux ou matrices de dispositifs à microstructure semblables |