- Sections
- H - électricité
- H01L - Dispositifs à semi-conducteurs non couverts par la classe
- H01L 21/3065 - Gravure par plasma; Gravure au moyen d'ions réactifs
Détention brevets de la classe H01L 21/3065
Brevets de cette classe: 8010
Historique des publications depuis 10 ans
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2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 | 2022 | 2023 | 2024 |
Propriétaires principaux
Proprétaire |
Total
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Cette classe
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Tokyo Electron Limited | 11848 |
1456 |
Applied Materials, Inc. | 17143 |
820 |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 37480 |
625 |
Lam Research Corporation | 4878 |
550 |
Hitachi High-Tech Corporation | 4806 |
193 |
International Business Machines Corporation | 59199 |
187 |
Samsung Electronics Co., Ltd. | 135388 |
127 |
ULVAC, Inc. | 1419 |
86 |
Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc | 633 |
76 |
Semiconductor Components Industries, L.L.C. | 5214 |
68 |
Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | 28660 |
66 |
GLOBALFOUNDRIES U.S. Inc. | 6451 |
63 |
Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation | 1774 |
63 |
ASM IP Holding B.V. | 1814 |
58 |
Disco Corporation | 1770 |
58 |
Kioxia Corporation | 9925 |
56 |
Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 14484 |
55 |
Kyocera Corporation | 13036 |
50 |
Central Glass Company, Limited | 1234 |
47 |
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | 1264 |
45 |
Autres propriétaires | 3261 |