- Sections
- H - électricité
- H01L - Dispositifs à semi-conducteurs non couverts par la classe
- H01L 21/3065 - Gravure par plasma; Gravure au moyen d'ions réactifs
Détention brevets de la classe H01L 21/3065
Brevets de cette classe: 7677
Historique des publications depuis 10 ans
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439
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563
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616
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742
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751
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759
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793
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580
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527
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446
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| 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 | 2022 | 2023 |
Propriétaires principaux
| Proprétaire |
Total
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Cette classe
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|---|---|---|
| Tokyo Electron Limited | 11305 |
1347 |
| Applied Materials, Inc. | 16117 |
791 |
| Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 34962 |
578 |
| Lam Research Corporation | 4662 |
550 |
| International Business Machines Corporation | 61980 |
196 |
| Hitachi High-Tech Corporation | 4260 |
171 |
| Samsung Electronics Co., Ltd. | 127295 |
120 |
| ULVAC, Inc. | 1467 |
87 |
| Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc | 563 |
70 |
| Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | 28065 |
67 |
| GLOBALFOUNDRIES U.S. Inc. | 6502 |
65 |
| Semiconductor Components Industries, L.L.C. | 5249 |
64 |
| Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation | 1759 |
63 |
| Kioxia Corporation | 9598 |
59 |
| Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 13880 |
54 |
| Kyocera Corporation | 12472 |
53 |
| ASM IP Holding B.V. | 1609 |
52 |
| Disco Corporation | 1684 |
52 |
| Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | 1303 |
45 |
| Infineon Technologies AG | 8378 |
45 |
| Autres propriétaires | 3148 |