Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chine

Retour au propriétaire

1-100 de 486 pour Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences Trier par
Recheche Texte
Brevet
États-Unis - USPTO
Affiner par Reset Report
Date
Nouveautés (dernières 4 semaines) 5
2023 septembre (MACJ) 2
2023 août 6
2023 juillet 3
2023 juin 5
Voir plus
Classe IPC
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs 207
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée 160
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices 87
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives 67
H01L 21/8234 - Technologie MIS 67
Voir plus
Statut
En Instance 70
Enregistré / En vigueur 416
Résultats pour  brevets
  1     2     3     ...     5        Prochaine page

1.

SPIN ORBIT TORQUE MAGNETIC RANDOM ACCESS MEMORY CELL, SPIN ORBIT TORQUE MAGNETIC RANDOM ACCESS MEMORY ARRAY, AND METHOD FOR CALCULATING HAMMING DISTANCE

      
Numéro d'application 18005756
Statut En instance
Date de dépôt 2021-01-21
Date de la première publication 2023-09-07
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Xing, Guozhong
  • Lin, Huai
  • Wang, Di
  • Liu, Long
  • Zhang, Feng
  • Xie, Changqing
  • Li, Ling
  • Liu, Ming

Abrégé

Provided are a spin orbit torque magnetic random access memory cell, a spin orbit torque magnetic random access memory array and a method for calculating a Hamming distance, wherein the spin orbit torque magnetic random access memory cell includes a magnetic tunnel junction; a first transistor, a drain terminal of the first transistor being connected to a bottom of the magnetic tunnel junction; and a second transistor, a drain terminal of the second transistor being connected to a top of the magnetic tunnel junction.

Classes IPC  ?

  • G06F 7/57 - Unités arithmétiques et logiques [UAL], c. à d. dispositions ou dispositifs pour accomplir plusieurs des opérations couvertes par les groupes  ou pour accomplir des opérations logiques
  • G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin

2.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 18315836
Statut En instance
Date de dépôt 2023-05-11
Date de la première publication 2023-09-07
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A compact vertical semiconductor device and a manufacturing method thereof, and an electronic apparatus including the semiconductor device are provided. According to the embodiments, the vertical semiconductor device may include: a plurality of vertical unit devices stacked on each other, in which the unit devices include respective gate stacks extending in a lateral direction, and each of the gate stacks includes a main body, an end portion, and a connection portion located between the main body and the end portion, and in a top view, a periphery of the connection portion is recessed relative to peripheries of the main body and the end portion; and a contact portion located on the end portion of each of the gate stacks, in which the contact portion is in contact with the end portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique

3.

SPIN ORBIT TORQUE MAGNETIC RANDOM ACCESS MEMORY CELL, MEMORY ARRAY, AND MEMORY

      
Numéro d'application 18003038
Statut En instance
Date de dépôt 2020-06-24
Date de la première publication 2023-08-31
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Xing, Guozhong
  • Lin, Huai
  • Liu, Ming

Abrégé

Provided are a spin orbit torque magnetic random access memory cell, a memory array and a memory, wherein the spin orbit torque magnetic random access memory cell includes: a magnetic tunnel and a selector; the selector is a two-dimensional material based selector; the magnetic tunnel junction is arranged above or below the selector; the magnetic tunnel junction includes an antiferromagnetic layer and a free layer; the free layer is adjacent to the antiferromagnetic layer; when the selector is turned on, the memory cell is conducted, a current generates a spin current which is injected into the free layer, and a magnetization direction of the free layer is switched by the exchange bias effect between the free layer and the antiferromagnetic layer. A deterministic magnetization switching of SOT-MRAM memory cell under zero magnetic field at room temperature may be implemented without an external magnetic field by using the exchange bias effect and applying an optimized bias voltage of the magnetic tunnel junction, so as to achieve a purpose of data writing and implement SOT-MRAM memory cell with double terminal structure.

Classes IPC  ?

  • H10B 61/00 - Dispositifs de mémoire magnétique, p.ex. dispositifs RAM magnéto-résistifs [MRAM]
  • H10N 52/85 - Matériaux actifs magnétiques

4.

SYMMETRIC MEMORY CELL AND BNN CIRCUIT

      
Numéro d'application 18005101
Statut En instance
Date de dépôt 2020-08-24
Date de la première publication 2023-08-24
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Luo, Qing
  • Chen, Bing
  • Lv, Hangbing
  • Liu, Ming
  • Lu, Cheng

Abrégé

Provided are a symmetric memory cell and a BNN circuit. The symmetric memory cell includes a first complementary structure and a second complementary structure, the second complementary structure being symmetrically connected to the first complementary structure in a first direction, wherein the first complementary structure includes a first control transistor configured to be connected to the second complementary structure, the second complementary structure includes a second control transistor, a drain electrode of the second control transistor and a drain electrode of the first control transistor being symmetrically arranged in the first direction and connected to a bit line, and the symmetric memory cell is configured to store a weight value 1 or 0.

Classes IPC  ?

  • G11C 11/4096 - Circuits de commande ou de gestion d'entrée/sortie [E/S, I/O] de données, p.ex. circuits pour la lecture ou l'écriture, circuits d'attaque d'entrée/sortie ou commutateurs de lignes de bits
  • G11C 11/408 - Circuits d'adressage
  • G11C 11/4094 - Circuits de commande ou de gestion de lignes de bits
  • H03K 19/017 - Modifications pour accélérer la commutation dans les circuits à transistor à effet de champ

5.

NOR-TYPE MEMORY DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING NOR-TYPE MEMORY DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING MEMORY DEVICE

      
Numéro d'application 18041085
Statut En instance
Date de dépôt 2022-07-05
Date de la première publication 2023-08-24
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Disclosed are a NOR-type memory device, a method of manufacturing the NOR-type memory device, and an electronic apparatus including the NOR-type memory device. The NOR-type memory device may include: a first gate stack extending vertically on a substrate, and a gate conductor layer and a memory functional layer; a first semiconductor layer surrounding a periphery of the first gate stack, extending along a sidewall of the first gate stack, and a first source/drain region, a first channel region and a second source/drain region arranged vertically in sequence; a conductive shielding layer surrounding a periphery of the first channel region; and a dielectric layer between the first channel region and the conductive shielding layer. The memory functional layer is located between the first semiconductor layer and the gate conductor layer. A memory cell is defined at an intersection of the first gate stack and the first semiconductor layer.

Classes IPC  ?

  • H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
  • H10B 43/10 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la configuration vue du dessus
  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H10B 51/10 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la configuration vue du dessus
  • H10B 51/20 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter

6.

MAGNETORESISTIVE DEVICE, METHOD FOR CHANGING RESISTANCE STATE THEREOF, AND SYNAPSE LEARNING MODULE

      
Numéro d'application 18003913
Statut En instance
Date de dépôt 2020-12-31
Date de la première publication 2023-08-17
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Xing, Guozhong
  • Wang, Di
  • Lin, Huai
  • Liu, Long
  • Liu, Yu
  • Lv, Hangbing
  • Xie, Changqing
  • Li, Ling
  • Liu, Ming

Abrégé

The present disclosure relates to a field of memory technical, and in particular to a magnetoresistive device, a method for changing a resistance state of the magnetoresistive device, and a synapse learning module. The magnetoresistive device includes a top electrode, a ferromagnetic reference layer, a tunneling layer, a ferromagnetic free layer, a spin-orbit coupling layer, and a bottom electrode that are arranged in sequence along a preset direction, where the spin-orbit coupling layer includes a first thickness region and a second thickness region distributed alternately, and a thickness of the first thickness region is different form a thickness of the second thickness region; and the ferromagnetic free layer includes a pinning region, and a position of the pinning region is in one-to-one correspondence with a position of the first thickness region.

Classes IPC  ?

  • H10N 50/10 - Dispositifs magnéto-résistifs
  • H10B 61/00 - Dispositifs de mémoire magnétique, p.ex. dispositifs RAM magnéto-résistifs [MRAM]
  • H10N 50/85 - Matériaux actifs magnétiques
  • G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin

7.

SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING HIGH DRIVING CAPABILITY AND STEEP SS CHARACTERISTIC AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

      
Numéro d'application 18059960
Statut En instance
Date de dépôt 2022-11-29
Date de la première publication 2023-08-17
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Li, Yongliang
  • Cheng, Xiaohong
  • Zhao, Fei
  • Luo, Jun
  • Wang, Wenwu

Abrégé

A semiconductor device and a method of manufacturing the same are disclosed. The semiconductor device includes: a substrate and a channel portion. The channel portion includes a first portion including a fin-shaped structure protruding with respect to the substrate and a second portion located above the first portion and spaced apart from the first portion. The second portion includes one or more nanowires or nanosheets spaced apart from each other. Source/drain portions are arranged on two opposite sides of the channel portion in a first direction and in contact with the channel portion. A gate stack extends on the substrate in a second direction intersecting with the first direction, so as to intersect with the channel portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

8.

METALLIZATION STACK AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING METALLIZATION STACK

      
Numéro d'application 18300719
Statut En instance
Date de dépôt 2023-04-14
Date de la première publication 2023-08-10
Propriétaire Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A metallization stack is provided. The metallization stack may include at least one interconnection line layer and at least one via hole layer arranged alternately on a substrate. At least one pair of adjacent interconnection line layer and via hole layer in the metallization stack includes an interconnection line in the interconnection line layer; and a via hole in the via hole layer. The via hole layer is arranged closer to the substrate than the interconnection line layer, and at least part of the interconnection line extends longitudinally in a first direction, and a sidewall of the at least part of the interconnection line in the first direction is substantially coplanar with at least upper portion of a corresponding sidewall of the via hole under the at least part of the interconnection line.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
  • H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées

9.

CACHE MEMORY AND METHOD OF ITS MANUFACTURE

      
Numéro d'application 18004968
Statut En instance
Date de dépôt 2020-07-20
Date de la première publication 2023-08-03
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Bi, Chong
  • Liu, Ming

Abrégé

Provided is a cache memory, including: a first field-effect transistor, a field-like spin torque layer underneath a magnetic tunnel junction, an electrode, and a second field-effect transistor sequentially arranged and connected; wherein the first field-effect transistor is configured to provide a writing current and to control the on-off of the writing current through a gate electrode; the field-like spin torque layer is configured to generate field-like spin torques for switching a first ferromagnetic layer of the magnetic tunnel junction; the magnetic tunnel junction includes a first ferromagnetic layer, a tunneling layer, a second ferromagnetic layer and a pinning layer arranged sequentially; the electrode is configured to connect the cache memory with the second field-effect transistor; and the second field-effect transistor is configured to control the on-off of the second field-effect transistor through the gate electrode to read the resistive state of the magnetic tunnel junction.

Classes IPC  ?

  • G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin
  • H10B 61/00 - Dispositifs de mémoire magnétique, p.ex. dispositifs RAM magnéto-résistifs [MRAM]
  • H10N 50/20 - Dispositifs à courant commandé à polarisation de spin
  • H10N 50/80 - Dispositifs galvanomagnétiques - Détails de structure
  • H10N 50/85 - Matériaux actifs magnétiques
  • H10N 50/01 - Fabrication ou traitement

10.

SEMICONDUCTOR DEVICE, FABRICATION METHOD FOR SAME, AND ELECTRONIC DEVICE COMPRISING SAME

      
Numéro d'application 17995907
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-10
Date de la première publication 2023-07-13
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Provided are a semiconductor device, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic apparatus including the semiconductor device. According to the embodiments, the semiconductor device may include: a vertical structure extending in a vertical direction relative to a substrate; and a nanosheet extending from the vertical structure and spaced apart from the substrate in the vertical direction, wherein the nanosheet includes a first portion in a first orientation, and at least one of an upper surface and a lower surface of the first portion is not parallel to a horizontal surface of the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

11.

VERTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING CONDUCTIVE LAYER, METHOD OF MANUFACTURING VERTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 18009410
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-23
Date de la première publication 2023-07-13
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Disclosed are a vertical semiconductor device having a conductive layer, a method of manufacturing the vertical semiconductor device, and an electronic device including the vertical semiconductor device. According to an embodiment, the semiconductor device may include: a substrate; a first metallic layer, a channel layer and a second metallic layer which are sequentially disposed on the substrate; and a gate stack formed around at least a part of a periphery of the channel layer, wherein each of the first metallic layer, the second metallic layer, and the channel layer is of single crystal structure.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS

12.

PARALLEL STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 18172802
Statut En instance
Date de dépôt 2023-02-22
Date de la première publication 2023-07-06
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A method of manufacturing a parallel structure of semiconductor devices includes: disposing a semiconductor stack, which includes source/drain layers disposed vertically in sequence and channel layers therebetween, on a substrate; patterning the semiconductor stack into a predetermined shape to define an active region; forming gate stacks around at least part of peripheries of the channel layers; forming an isolation layer on peripheries of the active region and the gate stack; forming first to third conductive channels on a sidewall of the isolation layer; determining the pre-determined shape and a shape of the gate stacks, such that one of the source/drain layers on two sides of the channel layer passes through the isolation layer to contact the first conductive channel, while the other one passes through the isolation layer to contact the second conductive channel, and the gate stack passes through the isolation layer to contact the third conductive channel.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 21/77 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun
  • H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

13.

MEMORY CELL STRUCTURE, MEMORY ARRAY STRUCTURE, AND VOLTAGE BIASING METHOD

      
Numéro d'application 17996194
Statut En instance
Date de dépôt 2020-04-14
Date de la première publication 2023-06-22
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lv, Hangbing
  • Yang, Jianguo
  • Xu, Xiaoxin
  • Liu, Ming

Abrégé

Provided are a memory cell structure, a memory array structure, and a voltage biasing method. The memory cell structure includes: a substrate layer, a well layer and a transistor. The substrate layer is configured to support the memory cell structure; the well layer is embedded in the substrate layer, an upper surface of the well layer is flush with an upper surface of the substrate layer, and a transistor is arranged on the well layer. In the present disclosure, a deep well bias is performed on the memory cell structure, so that the well voltage of the memory cell may be individually biased to a specific voltage, and in combination with the redesigned memory cell array structure, the applied programming voltage mostly falls on the memory cell structure. This reduces the programming voltage of the memory cell, and avoids a breakdown of the selecting transistor due to an excessively large voltage, thereby ensuring a great reliability of the device and a higher efficiency within the area of the memory cell array structure.

Classes IPC  ?

  • G11C 13/00 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage non couverts par les groupes , ou

14.

SEMICONDUCTOR APPARATUS HAVING STAGGERED STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17925913
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-18
Date de la première publication 2023-06-15
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Ai, Xuezheng
  • Zhang, Yongkui

Abrégé

A semiconductor apparatus having a staggered structure, a method of manufacturing a semiconductor apparatus, and an electronic device including the semiconductor apparatus. The semiconductor apparatus includes a first element and a second element on a substrate. The first element and the second element each include a comb-shaped structure. The comb-shaped structure includes a first portion extending in a vertical direction relative to the substrate, and at least one second portion extending from the first portion in a lateral direction relative to the substrate and spaced from the substrate. A height of the second portion of the first element in the vertical direction is staggered with respect to a height of the second portion of the second element in the vertical direction. A material of the comb-shaped structure of the first element is different from a material of the comb-shaped structure of the second element.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

15.

SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ZIGZAG STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17998456
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-11
Date de la première publication 2023-06-15
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device having a zigzag structure, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic including the semiconductor device. The semiconductor device may include a semiconductor layer (1031) extending in zigzag in a vertical direction with respect to a substrate (1001). The semiconductor layer (1031) includes one or more first portions disposed in sequence and spaced apart from each other in the vertical direction and second portions respectively disposed on and connected to opposite ends of each first portion. A second portion at one end of each first portion extends from the one end in a direction of leaving the substrate, and a second portion at the other end of the each first portion extends from the other end in a direction of approaching the substrate. First portions adjacent in the vertical direction are connected to each other by the same second portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

16.

MOSFET FOR SUPPRESSING GIDL, METHOD FOR MANUFACTURING MOSFET, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING MOSFET

      
Numéro d'application 18051434
Statut En instance
Date de dépôt 2022-10-31
Date de la première publication 2023-06-08
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET), a method for manufacturing MOSFET, and an electronic apparatus including MOSFET are disclosed. The MOSFET include: a vertical channel portion on a substrate; source/drain portions respectively located at upper and lower ends of the channel portion with respect to the substrate; and a gate stack opposite to the channel portion. The channel portion has doping concentration distribution, so that when the MOSFET is an n-type MOSFET (nMOSFET), a threshold voltage of a first portion of the channel portion close to one of the source/drain portions is lower than a threshold voltage of a second portion adjacent to the first portion; or when the MOSFET is a p-type MOSFET (pMOSFET), a threshold voltage of a first portion in the channel portion close to one of the source/drain portions is higher than a threshold voltage of a second portion adjacent to the first portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/04 - Corps semi-conducteurs caractérisés par leur structure cristalline, p.ex. polycristalline, cubique ou à orientation particulière des plans cristallins
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

17.

IN-MEMORY COMPUTING UNIT AND IN-MEMORY COMPUTING CIRCUIT HAVING RECONFIGURABLE LOGIC

      
Numéro d'application 17966476
Statut En instance
Date de dépôt 2022-10-14
Date de la première publication 2023-06-08
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Cui, Yan
  • Luo, Jun
  • Yang, Meiyin
  • Xu, Jing

Abrégé

An in-memory computing circuit having reconfigurable logic, including: an input stage and N output stages which are cascaded. The input stage includes 2N STT-MTJs. Each output stage includes STT-MTJs, of which a quantity is equal to a half of a quantity of STT-MTJs in a just previous stage. Two STT-MTJs in the previous stage and one STT-MTJ in the subsequent stage form a double-input single-output in-memory computing unit. Each double-input single-output in-memory computing unit can implement the four logical operations, i.e., NAND, NOR, AND, and OR, under different configurations. Data storage and logical operations can be realized under the same circuit architecture, and reconfigurations among different logic can be achieved.

Classes IPC  ?

  • G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin
  • H03K 19/20 - Circuits logiques, c. à d. ayant au moins deux entrées agissant sur une sortie; Circuits d'inversion caractérisés par la fonction logique, p.ex. circuits ET, OU, NI, NON

18.

TWO-DIMENSIONAL MATERIAL-BASED SELECTOR, MEMORY UNIT, ARRAY, AND METHOD OF OPERATING THE SAME

      
Numéro d'application 17998782
Statut En instance
Date de dépôt 2020-05-15
Date de la première publication 2023-05-25
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lin, Huai
  • Xing, Guozhong
  • Liu, Ming

Abrégé

A two-dimensional material-based selector includes: a stack unit, wherein the stack unit has a metal-two-dimensional semiconductor-metal structure comprising a two-dimensional semiconductor layer, and metal layers arranged on an upper surface and a lower surface of the two-dimensional semiconductor layer, respectively. The number of the stack units is N, where N≥1. In each stack unit, a Schottky contact is formed on two metal-two-dimensional conductor interfaces, and the stack unit includes two Schottky diode structures connected in reverse series in response to the two-dimensional material-based selector being turned on. Alternatively, the number of the stack units is M, where M≥2. In each stack unit, a Schottky contact and an Ohmic contact are formed the two metal-two-dimensional conductor interfaces, respectively. The M stack units include M Schottky diode structures connected in reverse series in response to the two-dimensional material-based selector being turned on.

Classes IPC  ?

  • H10B 61/00 - Dispositifs de mémoire magnétique, p.ex. dispositifs RAM magnéto-résistifs [MRAM]
  • G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin

19.

SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING U-SHAPED STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17919652
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-23
Date de la première publication 2023-05-25
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Li, Chen

Abrégé

Disclosed are a semiconductor device having a U-shaped structure, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic including the semiconductor device. According to an embodiment, the semiconductor device may include: a first fin and a second fin disposed opposite to each other, wherein the first fin and the second fin extend in a vertical direction with respect to a substrate; a connection nanosheet connecting a bottom end of the first fin to a bottom end of a second fin to form a U-shaped structure, wherein the connection nanosheet is spaced apart from a top surface of the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

20.

SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 17995698
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-10
Date de la première publication 2023-05-04
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Provided are a semiconductor device, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic apparatus including the semiconductor device. According to the embodiments, the semiconductor device may include: a nanosheet stack layer on a substrate including a plurality of nanosheets spaced apart from each other in a vertical direction relative to the substrate, wherein at least one of the plurality of nanosheets includes a first portion in a first orientation, and at least one of an upper surface and a lower surface of the first portion is not parallel to a horizontal surface of the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS

21.

SPIN HALL DEVICE, METHOD FOR OBTAINING HALL VOLTAGE, AND MAX POOLING METHOD

      
Numéro d'application 17942246
Statut En instance
Date de dépôt 2022-09-12
Date de la première publication 2023-04-27
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Cui, Yan
  • Luo, Jun
  • Yang, Meiyin
  • Xu, Jing

Abrégé

The present application discloses a spin Hall device, a method for obtaining a Hall voltage, and a max pooling method. The spin Hall device includes a cobalt ferroboron layer. A top view and a bottom view of the spin Hall device are completely the same as a cross-shaped graph that has two axes of symmetry perpendicular to each other and equally divided by each other. The spin Hall device of the present application has non-volatility and analog polymorphic characteristics, can be used for obtaining a Hall voltage and applied to various circuits, is simple in structure and small in size, can save on-chip resources, and can meet computation requirements.

Classes IPC  ?

  • G01R 15/20 - Adaptations fournissant une isolation en tension ou en courant, p.ex. adaptations pour les réseaux à haute tension ou à courant fort utilisant des dispositifs galvano-magnétiques, p.ex. des dispositifs à effet Hall
  • G01R 19/25 - Dispositions pour procéder aux mesures de courant ou de tension ou pour en indiquer l'existence ou le signe utilisant une méthode de mesure numérique
  • G06N 3/063 - Réalisation physique, c. à d. mise en œuvre matérielle de réseaux neuronaux, de neurones ou de parties de neurone utilisant des moyens électroniques

22.

METHOD FOR PERFORMING LDPC SOFT DECODING, MEMORY, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17907048
Statut En instance
Date de dépôt 2020-03-23
Date de la première publication 2023-04-20
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Wang, Qi
  • Jiang, Yiyang
  • Li, Qianhui
  • Huo, Zongliang

Abrégé

The method includes: reading a memory cell having a encoded information bit, so as to obtain an LLR value of a current memory cell with reference to a pre-established LLR table according to a storage time, a threshold voltage partition and a comprehensive distribution corresponding to the current memory cell during reading; and performing a soft decoding operation on a codeword in the memory cell having the encoded information bit according to the read LLR value of the current memory cell, wherein the comprehensive distribution of the current memory cell is determined according to an influence of a memory cell adjacent to the current memory cell on a distribution of the current memory cell; an input of the pre-established LLR table comprises a storage time, a threshold voltage partition and a comprehensive distribution, and an output of the pre-established LLR table comprises an LLR value.

Classes IPC  ?

  • H03M 13/11 - Détection d'erreurs ou correction d'erreurs transmises par redondance dans la représentation des données, c.à d. mots de code contenant plus de chiffres que les mots source utilisant un codage par blocs, c.à d. un nombre prédéterminé de bits de contrôle ajouté à un nombre prédéterminé de bits d'information utilisant plusieurs bits de parité
  • H03M 13/15 - Codes cycliques, c. à d. décalages cycliques de mots de code produisant d'autres mots de code, p.ex. codes définis par un générateur polynomial, codes de Bose-Chaudhuri-Hocquenghen [BCH]
  • H03M 13/39 - Estimation de séquence, c.à d. utilisant des méthodes statistiques pour la reconstitution des codes originaux

23.

SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 18064449
Statut En instance
Date de dépôt 2022-12-12
Date de la première publication 2023-04-13
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A method of manufacturing a semiconductor memory device is provided. The method include: providing a stack of a sacrificial layer, a first source/drain layer, a channel layer, and a second source/drain layer on a substrate; defining a plurality of pillar-shaped active regions arranged in rows and columns in the first source/drain layer, the channel layer, and the second source/drain layer; removing the sacrificial layer and forming a plurality of bit lines extending below the respective columns of active regions in a space left by the removal of the sacrificial layer; forming gate stacks around peripheries of the channel layer in the respective active regions; and forming a plurality of word lines between the respective rows of active regions, wherein each of the word lines is electrically connected to the gate stacks of the respective memory cells in a corresponding one of the rows.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/739 - Dispositifs du type transistor, c.à d. susceptibles de répondre en continu aux signaux de commande appliqués commandés par effet de champ
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince

24.

SEMICONDUCTOR APPARATUS INCLUDING CAPACITOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17908596
Statut En instance
Date de dépôt 2021-02-24
Date de la première publication 2023-03-23
Propriétaire INSTITUTE OF MICROEELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor apparatus including a capacitor and a method of manufacturing the same, and an electronic device including the semiconductor apparatus are provided. According to embodiments, the semiconductor apparatus may include: a vertical semiconductor device including an active region extending vertically on a substrate; and a capacitor including a first capacitor electrode, a capacitor dielectric layer and a second capacitor electrode sequentially stacked. The first capacitor electrode extends vertically on the substrate and includes a conductive material, and the conductive material includes at least one semiconductor element contained in the active region of the vertical semiconductor device.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
  • H01L 29/94 - Dispositifs à métal-isolant-semi-conducteur, p.ex. MOS
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

25.

SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SPACER OF GRADUALLY CHANGED THICKNESS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

      
Numéro d'application 18046780
Statut En instance
Date de dépôt 2022-10-14
Date de la première publication 2023-03-02
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device and a manufacturing method thereof, and an electronic device including the semiconductor device. The method includes: forming a first material layer and a second material layer sequentially on a substrate; defining an active region of the semiconductor device on the substrate, the first material layer and the second material layer, wherein the active region includes a channel region; forming spacers around an outer periphery of the channel region, respectively at set positions of the substrate and the second material layer; forming a first source/drain region and a second source/drain region on the substrate and the second material layer respectively; and forming a gate stack around the outer periphery of the channel region; wherein the spacers each have a thickness varying in a direction perpendicular to a direction from the first source/drain region pointing to the second source/drain region.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 21/225 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase solide, p.ex. une couche d'oxyde dopée
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

26.

Semiconductor device with spacer of gradually changed thickness and manufacturing method thereof, and electronic device including the semiconductor device

      
Numéro d'application 18046791
Numéro de brevet 11728408
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2022-10-14
Date de la première publication 2023-03-02
Date d'octroi 2023-08-15
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device and a manufacturing method thereof, and an electronic device including the semiconductor device. The semiconductor device includes: a substrate; an active region including a first source/drain region, a channel region and a second source/drain region stacked sequentially on the substrate and adjacent to each other; a gate stack formed around an outer periphery of the channel region; and spacers formed around the outer periphery of the channel region, respectively between the gate stack and the first source/drain region and between the gate stack and the second source/drain region; wherein the spacers each have a thickness varying in a direction perpendicular to a direction from the first source/drain region pointing to the second source/drain region; wherein the spacers each have the thickness gradually decreasing from a surface exposed on an outer peripheral surface of the active region to an inside of the active region.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 21/225 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase solide, p.ex. une couche d'oxyde dopée
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

27.

SEMICONDUCTOR DEVICE WITH C-SHAPED CHANNEL PORTION, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 17759226
Statut En instance
Date de dépôt 2020-12-25
Date de la première publication 2023-03-02
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device with a C-shaped channel portion, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic apparatus including the semiconductor device are provided. The semiconductor device may include: a channel portion on a substrate, wherein the channel portion includes a curved nanosheet/nanowire with a C-shaped cross section; source/drain portions respectively located at upper and lower ends of the channel portion with respect to the substrate; and a gate stack surrounding a periphery of the channel portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS

28.

METALIZED LAMINATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND ELECTRONIC DEVICE COMPRISING METALIZED LAMINATE

      
Numéro d'application 17756939
Statut En instance
Date de dépôt 2020-10-16
Date de la première publication 2023-01-05
Propriétaire lnstitute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A metallic stack and a preparing method therefor, and an electronic device including the metallic stack. The metallic stack includes at least one interconnection wire layer and at least one via layer alternately arranged on a substrate. At least one pair of interconnection wire layer and via layer in the metallic stack includes interconnection wires in the interconnection wire layer and conductive vias in the via layer, wherein the interconnection wire layer is closer to the substrate than the via layer. At least a part of the interconnection wires is integrated with the conductive vias on the at least a part of the interconnection wires.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
  • H01L 23/532 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées caractérisées par les matériaux
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif

29.

THREE-DIMENSIONAL STATIC RANDOM-ACCESS MEMORY AND PREPARATION METHOD THEREFOR

      
Numéro d'application 17779723
Statut En instance
Date de dépôt 2019-12-10
Date de la première publication 2023-01-05
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Yin, Huaxiang
  • Lin, Xiang
  • Luo, Yanna
  • Liu, Zhanfeng

Abrégé

The method for manufacturing a three-dimensional static random-access memory, including: manufacturing a first semiconductor structure including multiple MOS transistors and a first insulating layer thereon; bonding a first material layer to the first insulating layer to form a first substrate layer; manufacturing multiple first low-temperature MOS transistors at a low temperature on the first substrate layer, and forming a second insulating layer thereon to form a second semiconductor structure; bonding a second material layer to the second insulating layer to form a second substrate layer; manufacturing multiple second low-temperature MOS transistors at a low temperature on the second substrate layer, and forming a third insulating layer thereon to form a third semiconductor structure; and forming an interconnection layer which interconnets the first semiconductor structure, the second semiconductor structure and the third semiconductor structure.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/11 - Structures de mémoires statiques à accès aléatoire

30.

METALLIZATION STACK AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING METALLIZATION STACK

      
Numéro d'application 17782928
Statut En instance
Date de dépôt 2020-11-06
Date de la première publication 2023-01-05
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A metallization stack and a method of manufacturing the same, and an electronic device including the metallization stack are provided. The metallization stack may include at least one interconnection line layer and at least one via hole layer arranged alternately on a substrate. At least one pair of adjacent interconnection line layer and via hole layer in the metallization stack includes: an interconnection line in the interconnection line layer, and a via hole in the via hole layer. The interconnection line layer is closer to the substrate than the via hole layer. A peripheral sidewall of a via hole on at least part of the interconnection line does not exceed a peripheral sidewall of the at least part of the interconnection line.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif

31.

SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

      
Numéro d'application 17777811
Statut En instance
Date de dépôt 2020-10-20
Date de la première publication 2022-12-29
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device, a method for manufacturing the semiconductor device, and electronic equipment including the semiconductor device. According to embodiments, a semiconductor device may include a channel portion, source/drain portions in contact with the channel portion on opposite sides of the channel portion, and a gate stack intersecting the channel portion. The channel portion includes a first part extending in a vertical direction relative to the substrate and a second part extending from the first part in a lateral direction relative to the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 21/265 - Bombardement par des radiations ondulatoires ou corpusculaires par des radiations d'énergie élevée produisant une implantation d'ions
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

32.

SEMICONDUCTOR APPARATUS, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND ELECTRONIC EQUIPMENT INCLUDING THE SEMICONDUCTOR APPARATUS

      
Numéro d'application 17781227
Statut En instance
Date de dépôt 2020-11-26
Date de la première publication 2022-12-29
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Disclosed are a semiconductor apparatus, a manufacturing method therefor, and an electronic equipment comprising the semiconductor apparatus. According to the embodiments, the semiconductor apparatus includes a first device and a second device on a substrate that are opposite each other. The first device and the second device each include a channel portion, source/drain portions on both sides of the channel portion that are connected to the channel portion, and a gate stack overlapping the channel portion. The channel portion includes a first portion extending in a vertical direction relative to the substrate and a second portion extending from the first portion in a transverse direction relative to the substrate. The second portion of the channel portion of the first device and the second portion of the channel portion of the second device extend toward or away from each other.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS

33.

Quantizer for sigma-delta modulator, sigma-delta modulator, and noise-shaped method

      
Numéro d'application 17422050
Numéro de brevet 11611353
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2021-06-04
Date de la première publication 2022-12-29
Date d'octroi 2023-03-21
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Wang, Kunyu
  • Zhou, Li
  • Chen, Jie
  • Chen, Minghui
  • Chen, Ming
  • Xu, Wenjing
  • Zhang, Chengbin

Abrégé

th period.

Classes IPC  ?

  • H03M 3/00 - Conversion de valeurs analogiques en, ou à partir d'une modulation différentielle

34.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING SEMICONDUCTOR DEVICE

      
Numéro d'application 17805575
Statut En instance
Date de dépôt 2022-06-06
Date de la première publication 2022-12-08
Propriétaire
  • Beijing Superstring Academy of Memory Technology (Chine)
  • Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device and a method of manufacturing the same, and an electronic apparatus including the semiconductor device are provided. The semiconductor device includes: an active region, on a substrate, extending substantially in a vertical direction; a gate stack formed around at least a part of a periphery of the active region, the active region including a channel region opposite to the gate stack, and a first source/drain region and a second source/drain region, and the gate stack including a gate dielectric layer, a work function tuning layer and a gate electrode material layer, and the work function tuning layer being between the gate electrode material layer and the channel region; and a first low-k dielectric layer extending from a first end of the work function tuning layer to surround a first corner of an end portion, on a side facing the channel region, of the gate electrode material layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

35.

NANOWIRE/NANOSHEET DEVICE WITH SUPPORT PORTION, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS

      
Numéro d'application 17729232
Statut En instance
Date de dépôt 2022-04-26
Date de la première publication 2022-11-17
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Provided are a nanowire/nanosheet device with a support portion, a method of manufacturing the same, and an electronic apparatus including the nanowire/nanosheet device. According to the embodiments, the nanowire/nanosheet device may include: a substrate; a first source/drain layer and a second source/drain layer opposite to each other in a first direction on the substrate; a first nanowire/nanosheet and a second nanowire/nanosheet, wherein the first nanowire/nanosheet and the second nanowire/nanosheet are spaced apart from a surface of the substrate, the first nanowire/nanosheet and the second nanowire/nanosheet extend from the first source/drain layer to the second source/drain layer, respectively, and are arranged adjacent to each other in a direction parallel to the surface of the substrate; a first support portion connected between the first nanowire/nanosheet and the second nanowire/nanosheet; and a gate stack extending in a second direction intersecting the first direction to surround the first nanowire/nanosheet and the second nanowire/nanosheet.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS

36.

SEMICONDUCTOR APPARATUS WITH ISOLATION PORTION BETWEEN VERTICALLY ADJACENT ELEMENTS, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17731844
Statut En instance
Date de dépôt 2022-04-28
Date de la première publication 2022-11-03
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor apparatus with an isolation portion between vertically adjacent elements and an electronic device including the semiconductor apparatus are provided. The semiconductor apparatus may include: a substrate; a first vertical semiconductor element and a second vertical semiconductor element stacked on the substrate sequentially, each of the first vertical semiconductor element and the second vertical semiconductor element including a first source/drain region, a channel region and a second source/drain region stacked sequentially in a vertical direction; and an isolation structure configured to electrically isolate the first vertical semiconductor element from the second vertical semiconductor element, and the isolation structure including a pn junction.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus

37.

NANOWIRE/NANOSHEET DEVICE WITH SUPPORT PORTION, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND ELECTRONIC APPARATUS

      
Numéro d'application 17731853
Statut En instance
Date de dépôt 2022-04-28
Date de la première publication 2022-11-03
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Provided are a nanowire/nanosheet device with a support portion, a method of manufacturing the nanowire/nanosheet device, and an electronic apparatus including the nanowire/nanosheet device. According to the embodiments, the nanowire/nanosheet device may include: a substrate; a first source/drain layer and a second source/drain layer opposite to each other in a first direction on the substrate; a first nanowire/nanosheet spaced apart from a surface of the substrate and extending from the first source/drain layer to the second source/drain layer; one or more support portions penetrating the first nanowire/nanosheet in a direction perpendicular to the surface of the substrate; and a gate stack extending in a second direction to surround the first nanowire/nanosheet, wherein the second direction intersects the first direction.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

38.

STORAGE UNIT AND DATA WRITING AND READING METHODS THEREOF, MEMORY AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17495390
Statut En instance
Date de dépôt 2021-10-06
Date de la première publication 2022-11-03
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Yang, Meiyin
  • Luo, Jun
  • Cui, Yan
  • Xu, Jing

Abrégé

The present disclosure provides a storage unit, a data writing method and a data reading method thereof, a memory and an electronic device. The storage unit includes a semiconductor substrate, a first insulating medium layer, a ferroelectric thin film layer, a bottom electrode, a tunnel junction, a first metal interconnection portion, a second metal interconnection portion, a third metal interconnection portion and a fourth metal interconnection portion. The first insulating medium layer is formed on the semiconductor substrate, the ferroelectric thin film layer is disposed on the first insulating medium layer, the bottom electrode is formed on the ferroelectric thin film layer, and the tunnel junction is formed on the bottom electrode. The first metal interconnection portion is connected to a first end of the bottom electrode, and the third metal interconnection portion is connected to a second end of the bottom electrode. The second metal interconnection portion is connected to the ferroelectric thin film layer, and the fourth metal interconnection portion is connected to the tunnel junction. As compared with the prior art, the present disclosure can control a directional flipping of the magnetic moment in the tunnel junction based on the ferroelectric thin film layer provided. Based on the structural design of the storage unit, the present disclosure does not require an external magnetic field, and fully meets the requirement of high integration of the device.

Classes IPC  ?

  • H01L 43/04 - Dispositifs utilisant les effets galvanomagnétiques ou des effets magnétiques analogues; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives - Détails de dispositifs à effet Hall
  • H01L 27/22 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun utilisant des effets de champ magnétique analogues
  • H01L 43/06 - Dispositifs à effet Hall
  • G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin
  • G11C 11/18 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des dispositifs à effet Hall

39.

SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE DEVICE

      
Numéro d'application 17661178
Statut En instance
Date de dépôt 2022-04-28
Date de la première publication 2022-11-03
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Provided are a semiconductor device, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic apparatus including the device. According to the embodiments, the semiconductor device may include: an active region extending substantially in a vertical direction on a substrate; a gate stack formed around at least a portion of an outer periphery of a middle section of the active region in the vertical direction, wherein the active region comprises a channel region opposite to the gate stack, and a first source/drain region and a second source/drain region located on two opposite sides of the channel region in the vertical direction; a first spacer located between a conductor layer of the gate stack and the first source/drain region, and a second spacer located between the conductor layer of the gate stack and the second source/drain region.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS

40.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

      
Numéro d'application 17754287
Statut En instance
Date de dépôt 2020-10-29
Date de la première publication 2022-10-13
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device and a method of manufacturing the same thereof, and an electronic apparatus including the semiconductor device. According to embodiments of the present disclosure, the semiconductor device includes a channel portion, source/drain portions connected to the channel portion on two opposite sides of the channel portion, and a gate stack intersecting with the channel portion. The channel portion includes a first portion extending in a vertical direction with respect to a substrate and a second portion extending from the first portion to two opposite sides in a lateral direction with respect to the substrate, respectively.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS

41.

METHOD FOR FABRICATING ANTI-REFLECTIVE LAYER ON QUARTZ SURFACE BY USING METAL-INDUCED SELF-MASKING ETCHING TECHNIQUE

      
Numéro d'application 17310206
Statut En instance
Date de dépôt 2019-02-01
Date de la première publication 2022-10-06
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Shi, Lina
  • Li, Longjie
  • Zhang, Kaiping
  • Niu, Jiebin
  • Xie, Changqing
  • Liu, Ming

Abrégé

The present disclosure provides a method for fabricating an anti-reflective layer on a quartz surface by using a metal-induced self-masking etching technique, comprising: performing reactive ion etching to a metal material and a quartz substrate by using a mixed gas containing a fluorine-based gas, wherein metal atoms and/or ions of the metal material are sputtered to a surface of the quartz substrate, to form a non-volatile metal fluoride on the surface of the quartz substrate; forming a micromask by a product of etching generated by reactive ion etching gathering around the non-volatile metal fluoride; and etching the micromask and the quartz substrate simultaneously, to form an anti-reflective layer having a sub-wavelength structure.

Classes IPC  ?

  • G02B 1/12 - Revêtements optiques obtenus par application sur les éléments optiques ou par traitement de la surface de ceux-ci par traitement de la surface, p.ex. par irradiation
  • G02B 1/02 - OPTIQUE ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES Éléments optiques caractérisés par la substance dont ils sont faits; Revêtements optiques pour éléments optiques faits de cristaux, p.ex. sel gemme, semi-conducteurs
  • G02B 1/118 - Revêtements antiréfléchissants ayant des structures de surface de longueur d’onde sous-optique conçues pour améliorer la transmission, p.ex. structures du type œil de mite
  • G03F 7/20 - Exposition; Appareillages à cet effet

42.

METHOD FOR PACKAGING SEMICONDUCTOR STRUCTURE, PACKAGING STRUCTURE, AND CHIP

      
Numéro d'application 17294645
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-18
Date de la première publication 2022-09-29
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Tang, Bo
  • Yang, Yan
  • Zhang, Peng
  • Li, Zhihua
  • Liu, Ruonan
  • Sun, Fujun
  • Huang, Kai
  • Li, Bin
  • Xie, Ling
  • Wang, Wenwu

Abrégé

A method for packaging a semiconductor structure, a packaging structure, and a chip. The method includes: forming the semiconductor structure on a SOI chip, where the semiconductor structure includes an edge coupler or a cavity structure; forming, through PECVD, silicon oxide on a surface of the semiconductor structure, where the surface is provided with an opening of a trench; and performing subsequent packaging. A characteristic of low step coverage of the PECVD is utilized for sealing an opening of a trench of the semiconductor structure, and addressed is an issue of a device failure due to the trench blocked by a packaging material in subsequent packaging.

Classes IPC  ?

  • G02B 6/132 - Circuits optiques intégrés caractérisés par le procédé de fabrication par le dépôt de couches minces
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
  • H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
  • H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des groupes principaux , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. circuit hybrides
  • H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant
  • G02B 6/30 - Moyens de couplage optique pour usage entre fibre et dispositif à couche mince

43.

INTERCONNECTION STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE INTERCONNECTION STRUCTURE

      
Numéro d'application 17836934
Statut En instance
Date de dépôt 2022-06-09
Date de la première publication 2022-09-29
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

An interconnection structure and a method of manufacturing the same, and an electronic device including the interconnection structure are provided. According to an embodiment, the interconnection structure includes: a first interconnection line at a first level, including at least a first portion extending along a first direction; a second interconnection line at a second level higher than the first level, including at least a second portion extending along a second direction crossing the first direction; a via plug disposed between the first portion of the first interconnection line and the second portion of the second interconnection line, and configured to electrically connect the first interconnection line and the second interconnection line, wherein the via plug includes a first pair of sidewalls respectively extending substantially parallel to corresponding sidewalls of the first portion and a second pair of sidewalls respectively extending substantially parallel to corresponding sidewalls of the second portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
  • H01L 23/532 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées caractérisées par les matériaux

44.

NOR-TYPE STORAGE DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING STORAGE DEVICE

      
Numéro d'application 17653774
Statut En instance
Date de dépôt 2022-03-07
Date de la première publication 2022-09-08
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A NOR-type storage device, a method of manufacturing the same, and an electronic apparatus including the same are provided. The NOR-type storage device includes: a gate stack extending vertically on a substrate; an active region surrounding a periphery of the gate stack, the active region including first and second source/drain regions, a first channel region between the first and second source/drain regions, third and fourth source/drain regions, and a second channel region between the third and fourth source/drain regions; first, second, third and fourth interconnection layers extending laterally from the first to fourth source/drain regions, respectively; and a source line contact part extending vertically with respect to the substrate to pass through the first to fourth interconnection layers and electrically connected to one of the first interconnection layer and the second interconnection layer, and to one of the third interconnection layer and the fourth interconnection layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 27/11565 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la configuration vue du dessus
  • H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
  • H01L 27/11587 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la configuration vue du dessus
  • H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS

45.

Vertical storage device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus including storage device

      
Numéro d'application 17687869
Numéro de brevet 11764310
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2022-03-07
Date de la première publication 2022-09-08
Date d'octroi 2023-09-19
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A vertical storage device, a method of manufacturing the same, and an electronic apparatus including the storage device are provided. The storage device includes: a first source/drain layer located at a first height with respect to a substrate and a second source/drain layer located at a second height different from the first height; a channel layer connecting the first source/drain layer and the second source/drain layer; and a gate stack including a storage function layer, the storage function layer extending on a sidewall of the channel layer and extending in-plane from the sidewall of the channel layer onto a sidewall of the first source/drain layer and a sidewall of the second source/drain layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/788 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à grille flottante
  • H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 21/225 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase solide, p.ex. une couche d'oxyde dopée
  • H01L 21/3065 - Gravure par plasma; Gravure au moyen d'ions réactifs
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

46.

THREE-DIMENSIONAL MEMORY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

      
Numéro d'application 17631321
Statut En instance
Date de dépôt 2019-07-29
Date de la première publication 2022-08-18
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhang, Gang
  • Huo, Zongliang

Abrégé

A three-dimensional memory and a method for manufacturing the three-dimensional memory, the three-dimensional memory includes a storage unit and a logic control unit, a front of the storage unit and a front of the logic control unit are attached to each other, and the logic control unit is connected to a control circuit, wherein a second metal line of the storage unit and a first metal line of the storage unit are respectively disposed on upper and lower sides of a channel layer of the storage unit, and the first metal line and the second metal line are electrically connected to the control circuit.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/11556 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
  • H01L 27/11524 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
  • H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
  • H01L 27/1157 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H01L 27/11526 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par la région de circuit périphérique
  • H01L 27/11573 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région de circuit périphérique

47.

STORAGE UNIT AND METHOD OF MANUFACUTRING THE SAME AND THREE-DIMENSIONAL MEMORY

      
Numéro d'application 17597926
Statut En instance
Date de dépôt 2019-07-29
Date de la première publication 2022-08-18
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhang, Gang
  • Huo, Zongliang

Abrégé

A storage unit, a method of manufacturing the storage unit, and a three-dimensional memory. The storage unit includes: a first conductivity-type substrate; a channel layer stacked on the first conductivity-type substrate in a first direction; a second conductivity-type conduction layer including a first part and a second part that are connected, the first part being located between the first conductivity-type substrate and the channel layer, and the second part being formed in a via hole passing through the channel layer; a channel passage layer penetrating the channel layer and the first part in a negative direction of the first direction, and extending into an interior of the first conductivity-type substrate; and an insulating layer located in the channel layer and surrounding a periphery of the channel passage layer. The first conductivity-type substrate and the second conductivity-type conduction layer provide carriers required for reading and erasing operations, respectively.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U

48.

SEMICONDUCTOR APPARATUS WITH HEAT DISSIPATION CONDUIT IN SIDEWALL INTERCONNECTION STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17666790
Statut En instance
Date de dépôt 2022-02-08
Date de la première publication 2022-08-11
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Ye, Tianchun

Abrégé

A semiconductor apparatus with a heat dissipation conduit in a sidewall interconnection structure, a method of manufacturing the semiconductor apparatus, and an electronic device including the semiconductor apparatus. According to the embodiments, the semiconductor apparatus includes: a carrier substrate having a first region and a second region adjacent to each other; a semiconductor device on the first region; and an interconnection structure on the second region, wherein the interconnection structure includes: an electrical isolation layer; a conductive structure in the electrical isolation layer, wherein at least a part of components require to be electrically connected in the semiconductor device is in contact with and therefore electrically connected to the conductive structure in a lateral direction, wherein the conductive structure is located at a corresponding height in the interconnection structure; and a heat dissipation conduit in the electrical isolation layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/46 - Dispositions pour le refroidissement, le chauffage, la ventilation ou la compensation de la température impliquant le transfert de chaleur par des fluides en circulation
  • H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes

49.

INTERCONNECTION STRUCTURE, CIRCUIT AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE INTERCONNECTION STRUCTURE OR CIRCUIT

      
Numéro d'application 17594753
Statut En instance
Date de dépôt 2019-05-30
Date de la première publication 2022-08-04
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

An interconnection structure for semiconductor devices formed on a substrate may be arranged under the semiconductor devices. The interconnection structure includes at least one via layer and at least one interconnection layer alternately arranged in a direction from the semiconductor device to the substrate, wherein each via layer includes via holes respectively arranged under at least a part of the semiconductor devices, and each interconnection layer includes conductive nodes respectively arranged under at least a part of the semiconductor devices, and in a same interconnection layer, a conductive channel is provided between at least one conductive node and at least another node; and the via holes in each via layer and the conductive nodes in each interconnection layer corresponding to the via holes at least partially overlap with each other in the direction from the semiconductor device to the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

50.

L-SHAPED STEPPED WORD LINE STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND THREE-DIMENSIONAL MEMORY

      
Numéro d'application 17597907
Statut En instance
Date de dépôt 2019-07-31
Date de la première publication 2022-08-04
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhang, Gang
  • Huo, Zonglang

Abrégé

There is provided an L-shaped stepped word line structure, a method of manufacturing the same, and a three-dimensional memory. the word line structure includes: a plurality of L-shaped word line units, wherein each L-shaped word line unit includes a long side extending in a second direction and arranged adjacent to a gate line slit, and a short side extending in a first direction and including a word line terminal; wherein the word line terminal is formed in a stepped stacked layer structure including a plurality of stacked layer pairs formed of an insulating material, a region close to the gate line slit in a stacked layer of each stacked layer pair serves as a replacement metal region, the replacement metal region includes a short side region surface metal layer located on a surface and a short side region internal metal layer located in an interior, a length of the short side region surface metal layer in the first direction is greater than that of the short side region internal metal layer in the first direction, and the word line terminal corresponds to the short side region surface metal layer. It may be ensured that even if the etching is excessive in a case that the etching selection ratio is not high enough, a word line short circuit may not occur.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H01L 23/535 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions internes, p.ex. structures d'interconnexions enterrées
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif

51.

SEMICONDUCTOR STRUCTURE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND TRANSISTOR

      
Numéro d'application 17214042
Statut En instance
Date de dépôt 2021-03-26
Date de la première publication 2022-07-21
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Luo, Jun
  • Ye, Tianchun
  • Zhang, Dan

Abrégé

A semiconductor structure, a method for manufacturing the semiconductor structure, and a transistor. A doped structure is provided, where the doped structure includes a dopant. A surface of the doped structure is oxidized to form the oxide film. In such case, the dopant at an interface between the oxide film and the doped structure may be redistributed, and thereby a segregated-dopant layer is formed inside or at a surface of the doped structure under the oxide film. A concentration of the dopant is higher in the segregated-dopant layer than in other regions of the doped structure. After the oxide film is removed, the doped structure with a high surface doping concentration can be obtained without an additional doping process. Therefore, after a conducting structure is formed on the segregated-dopant layer, a low contact resistance between the conducting structure and the doped structure is obtained, and a device performance is improved.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/40 - Electrodes
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

52.

SRAM cell, memory comprising the same, and electronic device

      
Numéro d'application 16768479
Numéro de brevet 11482279
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2019-10-31
Date de la première publication 2022-06-30
Date d'octroi 2022-10-25
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A Static Random Access Memory (SRAM) cell that may include a first pull-up transistor, a second pull-up transistor, a first pull-down transistor, a second pull-down transistor, a first pass-gate transistor and a second pass-gate transistor provided at two levels on a substrate. The respective transistors may be vertical transistors. The first pull-up transistor and the second pull-up transistor may be provided at a first level, and the first pull-down transistor, the second pull-down transistor, the first pass-gate transistor and the second pass-gate transistor may be provided at a second level different from the first level. A region where the first pull-up transistor and the second pull-up transistor are located and a region where the first pull-down transistor, the second pull-down transistor, the first pass-gate transistor and the second pass-gate transistor are located may at least partially overlap in a vertical direction with respect to an upper surface of the substrate.

Classes IPC  ?

  • G11C 11/00 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants
  • G11C 11/412 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors formant des cellules avec réaction positive, c. à d. des cellules ne nécessitant pas de rafraîchissement ou de régénération de la charge, p.ex. multivibrateur bistable, déclencheur de Schmitt utilisant uniquement des transistors à effet de champ
  • G11C 11/417 - Circuits auxiliaires, p.ex. pour l'adressage, le décodage, la commande, l'écriture, la lecture, la synchronisation ou la réduction de la consommation pour des cellules de mémoire du type à effet de champ
  • H01L 27/105 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration répétitive comprenant des composants à effet de champ
  • H01L 27/11 - Structures de mémoires statiques à accès aléatoire
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

53.

STRAINED VERTICAL CHANNEL SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 17643179
Statut En instance
Date de dépôt 2021-12-07
Date de la première publication 2022-06-16
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A strained vertical channel semiconductor device, a method of manufacturing the same, and an electronic apparatus including the same are provided. The method includes: providing a vertical channel layer on a substrate, wherein the vertical channel layer is held by a first supporting layer on a first side in a lateral direction, and is held by a second supporting layer on a second side opposite to the first side; replacing the first supporting layer with a first gate stack while the vertical channel layer is held by the second supporting layer; and replacing the second supporting layer with a second gate stack while the vertical channel layer is held by the first gate stack.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

54.

SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SIDEWALL INTERCONNECTION STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS

      
Numéro d'application 17548289
Statut En instance
Date de dépôt 2021-12-10
Date de la première publication 2022-06-16
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic apparatus including the semiconductor device are provided. The semiconductor device may include: a plurality of element stacks, wherein each element stack includes a plurality of stacked layers of semiconductor elements, each semiconductor element includes a gate electrode and source/drain regions on opposite sides of the gate electrode; and an interconnection structure between the plurality of element stacks. The interconnection structure includes an electrical isolation layer, and a conductive structure in the electrical isolation layer. At least one of the gate electrode and the source/drain regions of each of at least a part of the semiconductor elements is in contact with and therefore electrically connected to the conductive structure of the interconnection structure at a corresponding height in a lateral direction.

Classes IPC  ?

  • H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
  • H01L 21/762 - Régions diélectriques
  • H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
  • H01L 23/544 - Marques appliquées sur le dispositif semi-conducteur, p.ex. marques de repérage, schémas de test
  • H01L 23/535 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions internes, p.ex. structures d'interconnexions enterrées
  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

55.

Semiconductor device with sidewall interconnection structure, method of manufacturing the same, and electronic apparatus

      
Numéro d'application 17548298
Numéro de brevet 11749650
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2021-12-10
Date de la première publication 2022-06-16
Date d'octroi 2023-09-05
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A method of manufacturing a semiconductor device includes: providing an element stack on a carrier substrate; forming an interconnection structure connecting the element stack laterally in an area on the carrier substrate adjacent to the element stack, wherein the interconnection structure includes an electrical isolation layer and a conductive structure in the electrical isolation layer; and controlling a height of the conductive structure in the interconnection structure, so that at least a part of components to be electrically connected in the element stack are in contact and therefore electrically connected to the conductive structure at the corresponding height. Forming the conductive structure includes: forming a conductive material layer in the area; forming a mask layer covering the conductive material layer; patterning the mask layer into a pattern corresponding to the conductive structure; and using the mask layer as an etching mask to selectively etch the conductive material layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
  • H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
  • H01L 21/762 - Régions diélectriques
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
  • H01L 23/535 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions internes, p.ex. structures d'interconnexions enterrées
  • H01L 23/544 - Marques appliquées sur le dispositif semi-conducteur, p.ex. marques de repérage, schémas de test
  • H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide

56.

SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SIDEWALL INTERCONNECTION STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS

      
Numéro d'application 17545676
Statut En instance
Date de dépôt 2021-12-08
Date de la première publication 2022-06-16
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device with a sidewall interconnection structure and a method for manufacturing the same, and an electronic apparatus including the semiconductor device are provided. According to embodiments, the semiconductor device includes: a vertical stack including a plurality of element layers, wherein each element layer of the plurality of element layers includes a plurality of semiconductor elements and a metallization layer for the plurality of semiconductor elements; and an interconnection structure laterally adjoined the vertical stack. The interconnection structure includes: an electrical isolation layer; and a conductive structure in the electrical isolation layer, wherein at least a part of a conductive structure in the metallization layer of the each element layer is in contact with and electrically connected to the conductive structure at a corresponding height in the interconnection structure in a lateral direction.

Classes IPC  ?

  • H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
  • H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
  • H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

57.

NEURAL NETWORK OPERATION SYSTEM

      
Numéro d'application 17310203
Statut En instance
Date de dépôt 2019-01-28
Date de la première publication 2022-06-02
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lv, Hangbing
  • Xu, Xiaoxin
  • Luo, Qing
  • Liu, Ming

Abrégé

Disclosed is a neural network operation device, including: an operation array including operation units, wherein each operation unit includes: a source terminal, a drain terminal, a gate electrode, a threshold voltage adjustment layer under the gate electrode, and a channel region extending between a source region and a drain region, the threshold voltage adjustment layer is located on the channel region. The gate electrodes of each column of operation units of the operation array are connected together, and each column is used to adjust a weight value according to a threshold voltage adjusted by the threshold voltage adjustment layer. The threshold voltage adjustment layer is a ferroelectric layer.

Classes IPC  ?

  • G06N 3/063 - Réalisation physique, c. à d. mise en œuvre matérielle de réseaux neuronaux, de neurones ou de parties de neurone utilisant des moyens électroniques
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
  • G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
  • G11C 11/54 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments simulateurs de cellules biologiques, p.ex. neurone

58.

MEMORY

      
Numéro d'application 17310282
Statut En instance
Date de dépôt 2019-01-28
Date de la première publication 2022-04-21
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lv, Hangbing
  • Luo, Qing
  • Xu, Xiaoxin
  • Gong, Tiancheng
  • Liu, Ming

Abrégé

Disclosed is a memory, including a plurality of memory units, wherein each memory unit includes: a bulk substrate; a source electrode, a drain electrode and a channel region extending between a source region and a drain region that are located on the bulk substrate; a deep-level defect dielectric layer on the channel region; and a gate electrode on the deep-level defect dielectric layer. The memory of the present disclosure allows the memory unit to operate in the charge trapping mode and the polarization inversion mode. Therefore, the memory has functions of both DRAM and NAND, and combines the advantages of the two.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/1159 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la région noyau de mémoire
  • H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
  • H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

59.

WRITING METHOD AND ERASING METHOD OF FUSION MEMORY

      
Numéro d'application 17426053
Statut En instance
Date de dépôt 2019-01-28
Date de la première publication 2022-04-14
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lv, Hangbing
  • Luo, Qing
  • Xu, Xiaoxin
  • Gong, Tiancheng
  • Liu, Ming

Abrégé

A writing method and erasing method of a fusion memory are provided, and the fusion memory includes a plurality of memory cells, and each memory cell of the plurality of memory cells includes a bulk substrate; a source and a drain on the bulk substrate, a channel region extending between the source and the drain, and a ferroelectric layer and a gate stacked on the channel region; and the writing method includes: applying a first voltage between the gate of at least one memory cell and the bulk of at least one memory cell, in which the first voltage is less than a reversal voltage at which the ferroelectric layer is polarization reversed, and each of the source and the drain is grounded or in a floating state.

Classes IPC  ?

  • G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
  • G11C 16/14 - Circuits pour effacer électriquement, p.ex. circuits de commutation de la tension d'effacement
  • G11C 16/34 - Détermination de l'état de programmation, p.ex. de la tension de seuil, de la surprogrammation ou de la sousprogrammation, de la rétention

60.

Structure of stacked gate-all-around nano-sheet CMOS device and method for manufacturing the same

      
Numéro d'application 16954776
Numéro de brevet 11411091
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2019-10-30
Date de la première publication 2022-04-14
Date d'octroi 2022-08-09
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (USA)
Inventeur(s)
  • Yin, Huaxiang
  • Ye, Tianchun
  • Zhang, Qingzhu
  • Yao, Jiaxin

Abrégé

A method for manufacturing a stacked gate-all-around nano-sheet CMOS device, including: providing a substrate with a fin structure, where a channel layer for an NMOS is a sacrificial layer for a PMOS, a channel layer for the PMOS is a sacrificial layer for the NMOS; and mobility of holes in the second material is greater than mobility of holes in the first material; forming a dummy gate stack extending across the fin structure; forming source-or-drain regions in the fin structure at two sides of the dummy gate stack; removing the dummy gate stack and the sacrificial layers covered by the dummy gate stack, to expose a surface of a part of the channel layer that is located between the source-or-drain regions, where a nano-sheet array is formed by the channel layer with the exposed surface; and forming a gate stack structure surrounding each nano sheet in the nano-sheet array.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires

61.

SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

      
Numéro d'application 17427539
Statut En instance
Date de dépôt 2019-04-24
Date de la première publication 2022-03-31
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Li, Chen
  • Zhang, Yongkui

Abrégé

Disclosed are a semiconductor device, a method of manufacturing the semiconductor device, and an electronic apparatus including the semiconductor device. The semiconductor device may include: a substrate; an active region extending vertically on the substrate, wherein the active region includes a first source/drain layer, a channel layer and a second source/drain layer that are sequentially stacked; a gate stack formed around at least part of an outer peripheral sidewall of the channel layer. A sidewall of the gate stack close to the channel layer is aligned with the outer peripheral sidewall of the channel layer, so as to occupy substantially a same range in a vertical direction, and a part of the gate stack close to the channel layer has a shape that gradually tapers as getting close to the channel layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

62.

FUSION MEMORY

      
Numéro d'application 17424998
Statut En instance
Date de dépôt 2019-01-28
Date de la première publication 2022-03-24
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lv, Hangbing
  • Luo, Qing
  • Xu, Xiaoxin
  • Gong, Tiancheng
  • Liu, Ming

Abrégé

The present disclosure provides a fusion memory including a plurality of memory cells, wherein each memory cell of the plurality of memory cells includes: a bulk substrate; a source and a drain on the bulk substrate; a channel extending between the source and the drain; a ferroelectric layer on the channel; and a gate on the ferroelectric layer.

Classes IPC  ?

  • G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
  • H01L 27/1159 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la région noyau de mémoire
  • H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
  • H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • G06N 3/063 - Réalisation physique, c. à d. mise en œuvre matérielle de réseaux neuronaux, de neurones ou de parties de neurone utilisant des moyens électroniques

63.

THREE-DIMENSIONAL VERTICAL SINGLE TRANSISTOR FERROELECTRIC MEMORY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

      
Numéro d'application 17423082
Statut En instance
Date de dépôt 2019-11-04
Date de la première publication 2022-03-17
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Yin, Huaxiang
  • Hou, Zhaozhao
  • Ye, Tianchun
  • Li, Chaolei

Abrégé

Provided are a three-dimensional vertical single transistor ferroelectric memory and a manufacturing method thereof. The ferroelectric memory comprises: a substrate; an insulating dielectric layer provided at the substrate; a channel structure extending through the insulating dielectric layer and connected to the substrate, the channel structure having a source/drain region and a channel region connected to the source/drain region; and a gate stack structure arranged around the channel structure and provided in the insulating dielectric layer opposite to the channel region, the gate stack structure comprising a ferroelectric insulation layer and a gate sequentially stacked in a direction away from the channel structure. The ferroelectric memory having the above structure can replace conventional DRAMs. Therefore, the invention realizes a high intensity high speed memory.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
  • H01L 27/1159 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la région noyau de mémoire

64.

SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, INTEGRATED CIRCUIT AND ELECTRONIC DEVICE

      
Numéro d'application 17309775
Statut En instance
Date de dépôt 2019-04-09
Date de la première publication 2022-03-17
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Huang, Weixing
  • Jia, Kunpeng

Abrégé

Disclosed are a semiconductor device, a method for manufacturing the same, an integrated circuit, and an electronic apparatus. The semiconductor device includes: a substrate; an active region on the substrate, the active region includes a first source and drain layer, a channel layer, and a second source and drain layer sequentially stacked on the substrate; a gate stack formed around an outer periphery of the channel layer; and an intermediate dielectric layer and a second conductive layer around an outer periphery of the gate stack and an outer periphery of the active region. The device and method provided by the present disclosure are used to solve the technical problem that the performances of the vertical device in the related art need to be improved. A semiconductor device with better performances is provided.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/11556 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/788 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à grille flottante

65.

MRAM, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE MRAM

      
Numéro d'application 17395795
Statut En instance
Date de dépôt 2021-08-06
Date de la première publication 2021-12-30
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Li, Junjie
  • Zhao, Chao

Abrégé

A Magnetic Random Access Memory (MRAM), a method of manufacturing the same, and an electronic device including the same are provided. The MRAM includes a substrate, an array of memory cells arranged in rows and columns, bit lines, and word lines. The memory cells each include a vertical switch device and a magnetic tunnel junction on the switch device and electrically connected to a first terminal of the switch device. An active region of the switch device at least partially includes a single-crystalline semiconductor material. Each of the memory cell columns is disposed on a corresponding bit line, and a second terminal of each of the respective switch devices in the memory cell column is electrically connected to the corresponding bit line. Each of the word lines is electrically connected to a control terminal of the respective switch devices of the respective memory cells in a corresponding memory cell row.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/22 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun utilisant des effets de champ magnétique analogues
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 43/12 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou le traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

66.

GaN-based superjunction vertical power transistor and manufacturing method thereof

      
Numéro d'application 16635323
Numéro de brevet 11289594
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2019-03-14
Date de la première publication 2021-12-23
Date d'octroi 2022-03-29
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Huang, Sen
  • Wang, Xinhua
  • Liu, Xinyu
  • Wang, Yuankun
  • Yin, Haibo
  • Wei, Ke

Abrégé

−-GaN layer to form a superjunction composite structure.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/778 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à deux dimensions, p.ex. transistors à effet de champ à haute mobilité électronique HEMT
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/20 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, uniquement des composés AIIIBV
  • H01L 29/205 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, uniquement des composés AIIIBV comprenant plusieurs composés dans différentes régions semi-conductrices
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

67.

MEMORY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE MEMORY DEVICE

      
Numéro d'application 17309222
Statut En instance
Date de dépôt 2018-12-13
Date de la première publication 2021-12-23
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A memory device and a method for manufacturing the same, and an electronic apparatus including the memory device are provided. The memory device may include: a substrate (1001); an electrode structure on the substrate (1001), in which the electrode structure includes a plurality of first electrode layers and a plurality of second electrode layers that are alternately stacked; a plurality of vertical active regions penetrating the electrode structure; a first gate dielectric layer and a second gate dielectric layer, in which the first gate dielectric layer is between the vertical active region and each first electrode layer of the electrode structure, and the second gate dielectric layer is between the vertical active region and each second electrode layer of the electrode structure, each of the first gate dielectric layer and the second gate dielectric layer constitutes a data memory structure. A first effective work function of a combination of the first electrode layer and the first gate dielectric layer is different from a second effective work function of a combination of the second electrode layer and the second gate dielectric layer.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U

68.

Semiconductor device and method for manufacturing the same

      
Numéro d'application 17004173
Numéro de brevet 11456218
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-08-27
Date de la première publication 2021-12-09
Date d'octroi 2022-09-27
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (USA)
Inventeur(s)
  • Wang, Guilei
  • Radamson, Henry H
  • Kong, Zhenzhen
  • Li, Junjie
  • Liu, Jinbiao
  • Li, Junfeng
  • Yin, Huaxiang

Abrégé

A semiconductor device and a method for manufacturing the semiconductor device. Multiple stacks and an isolation structure among the multiple stacks are formed on a substrate. Each stack includes a first doping layer, a channel layer and a second doping layer. For each stack, the channel layer is laterally etched from at least one sidewall of said stack to form a cavity located between the first doping layer and the second doping layer, and a gate dielectric layer and a gate layer are formed in the cavity. A first sidewall of each stack is contact with the isolation structure, and the at least one sidewall does not include the first side wall. Costly high-precision etching is not necessary, and therefore a device with a small size and a high performance can be achieved with a simple process and a low cost. Diversified device structures can be provided on requirement.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

69.

Semiconductor device and manufacturing method thereof and electronic apparatus including the same

      
Numéro d'application 17281162
Numéro de brevet 11688806
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-10-31
Date de la première publication 2021-11-11
Date d'octroi 2023-06-27
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A compact vertical semiconductor device and a manufacturing method thereof, and an electronic apparatus including the semiconductor device are provided, and the vertical semiconductor device may include: a plurality of vertical unit devices stacked on each other, in which the unit devices include respective gate stacks extending in a lateral direction, and each of the gate stacks includes a main body, an end portion, and a connection portion located between the main body and the end portion, and in a top view, a periphery of the connection portion is recessed relative to peripheries of the main body and the end portion; and a contact portion located on the end portion of each of the gate stacks, in which the contact portion is in contact with the end portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS

70.

Semiconductor device having interface structure

      
Numéro d'application 16627711
Numéro de brevet 11404568
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-11-30
Date de la première publication 2021-10-28
Date d'octroi 2022-08-02
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Wu, Zhenhua

Abrégé

A semiconductor device, including: a substrate; a first source/drain layer, a channel layer, and a second source/drain layer sequentially stacked on the substrate and adjacent to each other, and a gate stack formed around an outer circumference of the channel layer; wherein at least one interface structure is formed in at least one of the first source/drain layer and the second source/drain layer, the conduction band energy levels at both sides of the interface structure are different and/or the valence band energy levels are different.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/267 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, des éléments couverts par plusieurs des groupes , , , , dans différentes régions semi-conductrices
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

71.

Semiconductor memory device, method of manufacturing the same, and electronic device including the semiconductor memory device

      
Numéro d'application 16626793
Numéro de brevet 11380689
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-09-21
Date de la première publication 2021-10-28
Date d'octroi 2022-07-05
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor memory device, a method of manufacturing the same, and an electronic device including the semiconductor memory device are disclosed. According to an embodiment, the semiconductor memory device may include a substrate; an array of memory cells provided on the substrate, wherein the memory cells are arranged in rows and columns, each of the memory cells comprises a pillar-shaped active region extending vertically, wherein the pillar-shaped active region comprises source/drain regions at upper and lower ends respectively and a channel region between the source/drain regions; and a plurality of bit lines formed on the substrate, wherein each of the bit lines is located below a corresponding one of the columns of memory cells and is electrically connected to the source/drain regions at lower ends of the respective memory cells in the corresponding column, wherein each of the memory cells further comprises a gate stack formed around a periphery of a corresponding channel region, and a respective one of the rows of memory cells has gate conductor layers included in the gate stacks of the respective memory cells in the row extending continuously in a direction of the row to form a corresponding one of word lines.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/108 - Structures de mémoires dynamiques à accès aléatoire
  • G11C 11/408 - Circuits d'adressage
  • G11C 11/4097 - Organisation de lignes de bits, p.ex. configuration de lignes de bits, lignes de bits repliées
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter

72.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 17226919
Statut En instance
Date de dépôt 2021-04-09
Date de la première publication 2021-10-21
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device that includes: a substrate; a first source/drain layer, a channel layer and a second source/drain layer stacked in sequence on the substrate in a vertical direction relative to the substrate, wherein the first source/drain layer includes a first source/drain region on an outer side of the substrate in a transverse direction, and a first body region on an inner side of the first source/drain region in the transverse direction; a gate stack surrounding a part of the channel layer; a back gate under the channel layer, wherein in a top view, the back gate, the first body region in the first source/drain region and the channel layer at least partially overlap; a back gate dielectric layer between the first source/drain layer and the back gate; and a back gate contact portion, the back gate contact portion is configured to apply a bias to the back gate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

73.

RESISTIVE RANDOM ACCESS MEMORY AND METHOD FOR PREPARING THE SAME

      
Numéro d'application 17250553
Statut En instance
Date de dépôt 2018-08-02
Date de la première publication 2021-09-23
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Liu, Qi
  • Lv, Hangbing
  • Liu, Ming
  • Xu, Xiaoxin
  • Lu, Cheng
  • Zhao, Shengjie

Abrégé

The present disclosure discloses a resistive random access memory, and the resistive random access memory includes a lower electrode layer, a ferroelectric material layer, and an upper electrode layer arranged in sequence from bottom to top, wherein the ferroelectric material layer includes a doped HfO2 ferroelectric thin film.

Classes IPC  ?

  • H01L 45/00 - Dispositifs à l'état solide spécialement adaptés pour le redressement, l'amplification, la production d'oscillations ou la commutation, sans barrière de potentiel ni barrière de surface, p.ex. triodes diélectriques; Dispositifs à effet Ovshinsky; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives

74.

NEURON CIRCUIT AND NEURAL NETWORK CIRCUIT

      
Numéro d'application 17250569
Statut En instance
Date de dépôt 2018-08-07
Date de la première publication 2021-09-23
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Liu, Qi
  • Zhang, Xumeng
  • Liu, Ming
  • Lv, Hangbing
  • Long, Shibing

Abrégé

A neuron circuit (100), including a memristive element (M1), a trigger element (D1), a feedback element (T1) and an AND circuit (A1). The memristive element (M1) is used to receive an excitation signal. The trigger element (D1) is connected to the memristive element (M1) and is used to receive a clock control signal for the neuron circuit and an output signal of the memristive element (M1). The feedback element (T1) is connected to an output end of the trigger element (D1) and an input end of the memristive element (M1) and is used to control a voltage at the input end of the memristive element (M1). The AND circuit (A1) is used to perform an AND operation on an output signal of the trigger element (D1) and the clock control signal. An output signal of the AND circuit (A1) acts as an output signal of the neuron circuit (100).

Classes IPC  ?

  • G06N 3/063 - Réalisation physique, c. à d. mise en œuvre matérielle de réseaux neuronaux, de neurones ou de parties de neurone utilisant des moyens électroniques
  • G06N 3/08 - Méthodes d'apprentissage

75.

Semiconductor device, manufacturing method thereof, and electronic device including the device

      
Numéro d'application 17261862
Numéro de brevet 11652103
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-10-31
Date de la première publication 2021-09-23
Date d'octroi 2023-05-16
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device, a manufacturing method thereof, and an electronic device including the semiconductor device. According to an embodiment of the present disclosure, the semiconductor device may comprise: a substrate; a first device and a second device that are sequentially stacked on the substrate. Each of the first device and the second device comprises: a first source/drain layer, a channel layer, and a second source layer that are sequentially stacked from bottom to top, and a gate stack around at least a part of an outer periphery of the channel layer, wherein sidewalls of the respective channel layers of the first device and the second device extend at least partially along different crystal planes or crystal plane families.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/04 - Corps semi-conducteurs caractérisés par leur structure cristalline, p.ex. polycristalline, cubique ou à orientation particulière des plans cristallins
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 21/285 - Dépôt de matériaux conducteurs ou isolants pour les électrodes à partir d'un gaz ou d'une vapeur, p.ex. condensation
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique

76.

Nanowire semiconductor device having high-quality epitaxial layer and method of manufacturing the same

      
Numéro d'application 17197930
Numéro de brevet 11532753
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2021-03-10
Date de la première publication 2021-07-22
Date d'octroi 2022-12-20
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A nanowire semiconductor device having a high-quality epitaxial layer and a method of manufacturing the same are provided. According to an embodiment, the semiconductor device may include: a substrate; one or more nanowires spaced apart from the substrate, wherein the nanowires each extend along a curved longitudinal extending direction; and one or more semiconductor layers formed around peripheries of the respective nanowires to at least partially surround the respective nanowires, wherein the respective semiconductor layers around the respective nanowires are spaced apart from each other.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • B82Y 10/00 - Nanotechnologie pour le traitement, le stockage ou la transmission d’informations, p.ex. calcul quantique ou logique à un électron
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 29/165 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, mis à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, seulement des éléments du groupe IV de la classification périodique, sous forme non combinée comprenant plusieurs des éléments prévus en dans différentes régions semi-conductrices
  • H01L 29/267 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, des éléments couverts par plusieurs des groupes , , , , dans différentes régions semi-conductrices

77.

Semiconductor device with C-shaped channel portion and electronic apparatus including the same

      
Numéro d'application 17153839
Numéro de brevet 11616150
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2021-01-20
Date de la première publication 2021-07-22
Date d'octroi 2023-03-28
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device with C-shaped channel portion and an electronic apparatus including the semiconductor device are disclosed. According to the embodiments, the semiconductor device may include a first semiconductor element and a second semiconductor element adjacent in a first direction. The first semiconductor element and the second semiconductor element may respectively include: a channel portion on a substrate, the channel portion including a curved nano-sheet or nano-wire with a C-shaped section; source/drain portions at upper and lower ends of the channel portion with respect to the substrate, respectively; and a gate stack surrounding a periphery of the channel portion. The channel portion of the first semiconductor element and the channel portion of the second semiconductor element may be substantially coplanar.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/40 - Electrodes
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS

78.

Semiconductor device with c-shaped channel portion, method of manufacturing the same, and electronic apparatus including the same

      
Numéro d'application 17153842
Numéro de brevet 11677001
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2021-01-20
Date de la première publication 2021-07-22
Date d'octroi 2023-06-13
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure discloses a semiconductor device with C-shaped channel portion, a method of manufacturing the same, and an electronic apparatus including the same. According to the embodiments, the semiconductor device may comprise a channel portion on a substrate, the channel portion including two or more curved nanosheets or nanowires spaced apart from each other in a lateral direction relative to the substrate and each having a C-shaped cross section; source/drain portions respectively located at upper and lower ends of the channel portion relative to the substrate; and a gate stack surrounding an outer circumference of each nanosheet or nanowire in the channel portion.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/306 - Traitement chimique ou électrique, p.ex. gravure électrolytique
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives

79.

High-precision etching method

      
Numéro d'application 16962084
Numéro de brevet 11447876
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-09-21
Date de la première publication 2021-07-22
Date d'octroi 2022-09-20
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Yin, Xiaogen
  • Li, Chen
  • Du, Anyan
  • Zhang, Yongkui

Abrégé

An embodiment of the present disclosure provides an etching method, having the following steps: forming a modified layer having a thickness of one or several atom layers on a selected region of a surface of a semiconductor material layer by using a modifier; and removing the modified layer. When a semiconductor is processed, this method achieves precise control over the etching thickness and improves the etching rate at the same time.

Classes IPC  ?

  • C23F 1/16 - Compositions acides
  • H01L 21/306 - Traitement chimique ou électrique, p.ex. gravure électrolytique

80.

SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE DEVICE

      
Numéro d'application 17250770
Statut En instance
Date de dépôt 2018-10-31
Date de la première publication 2021-06-24
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Zhang, Yongkui
  • Yin, Xiaogen
  • Li, Chen
  • Liu, Yongbo
  • Jia, Kunpeng

Abrégé

The disclosed technology provides a semiconductor device, a manufacturing method thereof, and an electronic device including the device. An example semiconductor device includes a substrate; a first device and a second device on the substrate. Each of the first device and the second device include a first source/drain layer, a channel layer, and a second source layer that are sequentially stacked, from bottom to top, on the substrate, and a gate stack around at least a part of an outer periphery of the channel layer, with sidewalls of the respective channel layers of the first device and the second device extending at least partially along different crystal planes or crystal plane families.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires

81.

Semiconductor device with U-shaped channel and manufacturing method thereof, and electronic apparatus including the same

      
Numéro d'application 17110630
Numéro de brevet 11532743
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-12-03
Date de la première publication 2021-06-10
Date d'octroi 2022-12-20
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device with a U-shaped channel and a manufacturing method thereof and an electronic apparatus including the semiconductor device are disclosed. According to embodiments, the semiconductor device may include: a channel portion extending vertically on a substrate and having a U-shape in a plan view; source/drain portions located at upper and lower ends of the channel portion and along the U-shaped channel portion; and a gate stack overlapping the channel portion on an inner side of the U shape.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

82.

C-shaped active area semiconductor device, method of manufacturing the same and electronic device including the same

      
Numéro d'application 17112903
Numéro de brevet 11532756
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-12-04
Date de la première publication 2021-06-10
Date d'octroi 2022-12-20
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A C-shaped active area semiconductor device and a method of manufacturing the same and electronic device including the semiconductor device are provided. According to embodiments, the semiconductor device includes: a channel portion extending vertically on a substrate; source/drain portions located at upper and lower ends of the channel portion relative to the substrate and along the channel portion, wherein the source/drain portion extends toward a side of the channel portion in a lateral direction relative to the substrate, so that the source/drain portions and the channel portion constitute a C-shaped structure; a gate stack that overlaps the channel portion on an inner sidewall of the C-shaped structure, wherein the gate stack has a portion surrounded by the C-shaped structure; and a back gate stack overlapping the channel portion on an outer sidewall of the C-shaped structure.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

83.

Resistance random access memory and method for fabricating the same

      
Numéro d'application 16616785
Numéro de brevet 11245074
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2017-05-26
Date de la première publication 2021-06-10
Date d'octroi 2022-02-08
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Lv, Hangbing
  • Liu, Ming
  • Long, Shibing
  • Liu, Qi

Abrégé

5, the RRAM of the present disclosure has a low activation voltage and a high on-off ratio, and can enhance the control capability over the device resistance by the number of oxygen vacancies.

Classes IPC  ?

  • H01L 45/00 - Dispositifs à l'état solide spécialement adaptés pour le redressement, l'amplification, la production d'oscillations ou la commutation, sans barrière de potentiel ni barrière de surface, p.ex. triodes diélectriques; Dispositifs à effet Ovshinsky; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 27/24 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des composants à l'état solide pour le redressement, l'amplification ou la commutation, sans barrière de potentiel ni barrière de surface

84.

SEMICONDUCTOR DEVICE WITH U-SHAPED CHANNEL AND ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING THE SAME

      
Numéro d'application 17112343
Statut En instance
Date de dépôt 2020-12-04
Date de la première publication 2021-06-10
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device with U-shaped channel and electronic apparatus including the same are disclosed. the semiconductor device includes a first device and a second device opposite to each other on a substrate. The two devices each include: a channel portion vertically extending on the substrate and having a U-shape in a plan view; source/drain portions respectively located at upper and lower ends of the channel portion and along the U-shaped channel portion; and a gate stack overlapping the channel portion on an inner side of the U-shape. An opening of the U-shape of the first device and an opening of the U-shape of the second device are opposite to each other. At least a portion of the gate stack of the first device close to the channel portion and at least a portion of the gate stack of the second device close to the channel portion are substantially coplanar.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

85.

Semiconductor device with c-shaped active area and electronic apparatus including the same

      
Numéro d'application 17112690
Numéro de brevet 11424323
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-12-04
Date de la première publication 2021-06-10
Date d'octroi 2022-08-23
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor device with a C-shaped active area and an electronic apparatus including the same is disclosed. The semiconductor device may include a first device and a second device opposite to each other on a substrate, each of which includes: a channel portion extending vertically on the substrate; source/drain portions located at the upper and lower ends of the channel portion and along the channel portion, the source/drain portions and the channel portion constitute a C-shaped structure; and a gate stack overlapping the channel portion on an inner sidewall of C-shaped structure, the gate stack has a portion surrounded by the C-shaped structure. The openings of the C-shaped structures of the two devices are opposite to each other. At least a portion of the gate stack of the first device close to the channel portion and that of the second device close to the channel portion are substantially coplanar.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices

86.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

      
Numéro d'application 17112739
Statut En instance
Date de dépôt 2020-12-04
Date de la première publication 2021-06-10
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device and a manufacturing method thereof, and an electronic device including the semiconductor device. The semiconductor device may include: a substrate; a first source/drain region, a channel region and a second source/drain region stacked sequentially on the substrate and adjacent to each other, and a gate stack formed around an outer periphery of the channel region; wherein the gate stack has a thickness varying in a direction perpendicular to a top surface of the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 21/225 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase solide, p.ex. une couche d'oxyde dopée
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

87.

Semiconductor device with spacer of gradually changed thickness and manufacturing method thereof, and electronic device including the semiconductor device

      
Numéro d'application 17112762
Numéro de brevet 11502184
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-12-04
Date de la première publication 2021-06-10
Date d'octroi 2022-11-15
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device and a manufacturing method thereof, and an electronic device including the semiconductor device. The semiconductor device includes: a substrate; an active region including a first source/drain region, a channel region and a second source/drain region stacked sequentially on the substrate and adjacent to each other; a gate stack formed around an outer periphery of the channel region; and spacers formed around the outer periphery of the channel region, respectively between the gate stack and the first source/drain region and between the gate stack and the second source/drain region; wherein the spacers each have a thickness varying in a direction parallel to a top surface of the substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
  • H01L 21/225 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase solide, p.ex. une couche d'oxyde dopée
  • H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
  • H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
  • H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

88.

C-shaped active area semiconductor device, method of manufacturing the same and electronic device including the same

      
Numéro d'application 17112831
Numéro de brevet 11482627
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-12-04
Date de la première publication 2021-06-10
Date d'octroi 2022-10-25
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A C-shaped active area semiconductor device and a method of manufacturing the same and electronic device including the semiconductor device are provided. According to embodiments, the semiconductor device includes: a channel portion extending vertically on a substrate; source/drain portions located at upper and lower ends of the channel portion relative to the substrate and along the channel portion, wherein the source/drain portion extends toward a side of the channel portion in a lateral direction relative to the substrate, so that the source/drain portions and the channel portion constitute a C-shaped structure; and a gate stack that overlaps the channel portion on an inner sidewall of the C-shaped structure, wherein the gate stack has a portion surrounded by the C-shaped structure.

Classes IPC  ?

89.

Method for obtaining a contact resistance of a planar device

      
Numéro d'application 16065582
Numéro de brevet 11215652
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-12-25
Date de la première publication 2021-06-03
Date d'octroi 2022-01-04
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Xu, Guangwei
  • Han, Zhiheng
  • Wang, Wei
  • Lu, Congyan
  • Wang, Lingfei
  • Li, Ling
  • Liu, Ming

Abrégé

A method for obtaining a contact resistance of a planar device includes: obtaining a contact resistance of a planar device by using a potential measurement method, in the measurement of the surface potential distribution, the planar device is in a state of current flowing, a certain voltage drop is formed at a junction area of the device; extracting the voltage drop measured through the Kelvin microscope by using a linear fitting method; and dividing the measured voltage drop by the current flowing through the device, thereby accurately calculating the magnitude of the contact resistance at the junction area of the planar device. With the present invention, the contact resistance of the planar device can be precisely measured, which is suitable for the contact resistance measurement experiments of devices such as thin film transistors and diodes. The invention has the advantages of reasonable theory, accurate result, simple and easy operation, and is favorable for optimizing the device performance and establishing a complete electrical model of the device.

Classes IPC  ?

  • G01R 27/08 - Mesure de la résistance par mesure à la fois de la tension et de l'intensité
  • G01R 27/20 - Mesure d'une résistance de terre; Mesure de la résistance de contact de connexions au sol, p.ex. de plaques

90.

Pixel compensation circuit

      
Numéro d'application 17053992
Numéro de brevet 11430385
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-08-02
Date de la première publication 2021-05-27
Date d'octroi 2022-08-30
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Geng, Di
  • Su, Yue
  • Li, Ling
  • Lu, Nianduan
  • Liu, Ming

Abrégé

A pixel compensation circuit including a first transistor, a second transistor, a third transistor, a fourth transistor, a fifth transistor, a sixth transistor, a first capacitor, a second capacitor, and an organic light-emitting diode, each of the first transistor to the sixth transistor including a drain, a source and a gate.

Classes IPC  ?

  • G09G 3/3233 - Dispositions ou circuits de commande présentant un intérêt uniquement pour l'affichage utilisant des moyens de visualisation autres que les tubes à rayons cathodiques pour la présentation d'un ensemble de plusieurs caractères, p.ex. d'une page, en composant l'ensemble par combinaison d'éléments individuels disposés en matrice utilisant des sources lumineuses commandées utilisant des panneaux électroluminescents semi-conducteurs, p.ex. utilisant des diodes électroluminescentes [LED] organiques, p.ex. utilisant des diodes électroluminescentes organiques [OLED] utilisant une matrice active avec un circuit de pixel pour commander le courant à travers l'élément électroluminescent
  • G09G 3/3291 - Dispositions ou circuits de commande présentant un intérêt uniquement pour l'affichage utilisant des moyens de visualisation autres que les tubes à rayons cathodiques pour la présentation d'un ensemble de plusieurs caractères, p.ex. d'une page, en composant l'ensemble par combinaison d'éléments individuels disposés en matrice utilisant des sources lumineuses commandées utilisant des panneaux électroluminescents semi-conducteurs, p.ex. utilisant des diodes électroluminescentes [LED] organiques, p.ex. utilisant des diodes électroluminescentes organiques [OLED] - Détails des circuits de commande pour les électrodes de données dans lequel le circuit de commande de données fournit une tension de données variable pour le réglage du courant à travers les éléments électroluminescents, ou de la tension aux bornes de ces éléments

91.

METHOD FOR INTEGRATING SURFACE-ELECTRODE ION TRAP AND SILICON PHOTOELECTRONIC DEVICE, INTEGRATED STRUCTURE, AND THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE

      
Numéro d'application 17121396
Statut En instance
Date de dépôt 2020-12-14
Date de la première publication 2021-05-20
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Yang, Yan
  • Li, Zhihua
  • Wang, Wenwu

Abrégé

A method for integrating a surface-electrode ion trap and a silicon optoelectronic device, and an integrated structure. A silicon structure and a grating are formed on a wafer. A first dielectric layer, a second dielectric layer, a third dielectric layer, and a fourth dielectric layer are sequentially deposited above the wafer. An epitaxy opening is provided in the first dielectric layer to form single-photon avalanche detectors. First contacts vias connecting the detectors, and through silicon vias reaching a back surface of the wafer, are provided in the second dielectric layer and the third dielectric layer, respectively. Electrodes, the second contact vias and the third contact vias are provided in the fourth dielectric layer. The first contact vias are connected to a first electrode via the second contact vias, and the through silicon vias are connected to the first electrode and a second electrode via the third contact vias.

Classes IPC  ?

  • H01L 31/0232 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails Éléments ou dispositions optiques associés au dispositif
  • H01L 31/02 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails

92.

Semiconductor device and method for manufacturing the same

      
Numéro d'application 16824761
Numéro de brevet 11024708
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-03-20
Date de la première publication 2021-05-20
Date d'octroi 2021-06-01
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Li, Yongliang
  • Cheng, Xiaohong
  • Zhang, Qingzhu
  • Yin, Huaxiang
  • Wang, Wenwu

Abrégé

A semiconductor device, including: a silicon substrate; multiple fin structures, formed on the silicon substrate, where each extends along a first direction; a shallow trench insulator, located among the multiple fin structures; a gate stack, intersecting with the multiple fin structures and extending along a second direction, where first spacers are formed on two sidewalls in the first direction of the gate stack; source-or-drain regions, formed on the multiple fin structures, and located at two sides of the gate stack along the first direction; and a channel region, including a portion of the multiple fin structures located between the first spacers. and notch structures. A notch structure recessed inward is located between each of the multiple fin structures and the silicon substrate. The notch structure includes an isolator that isolates each of the multiple fin structures from the silicon substrate.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée

93.

Stacked nanowire or nanosheet gate-all-around device and method for manufacturing the same

      
Numéro d'application 16824810
Numéro de brevet 11476328
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-03-20
Date de la première publication 2021-05-20
Date d'octroi 2022-10-18
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (USA)
Inventeur(s)
  • Li, Yongliang
  • Cheng, Xiaohong
  • Zhang, Qingzhu
  • Yin, Huaxiang
  • Wang, Wenwu

Abrégé

A stacked nanowire or nanosheet gate-all-around device, including: a silicon substrate; stacked nanowires or nanosheets located on the silicon substrate, extending along a first direction gate stacks and including multiple nanowires or nanosheets that are stacked; a gate stack, surrounding each of the stacked nanowires or nanosheets, and extending along a second direction, where first spacers are located on two sidewalls of the gate stack in the first direction; source-or-drain regions, located at two sides of the gate stack along the first direction; a channel region, including a portion of the stacked nanowires or nanosheets that is located between the first spacers. A notch structure recessed inward is located between the stacked nanowires or nanosheets and the silicon substrate, and includes an isolator that isolates the stacked nanowires or nanosheets from the silicon substrate. A method for manufacturing the stacked nanowire or nanosheet gate-all-around device is further provided.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 21/84 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels pour produire des dispositifs, p.ex. des circuits intégrés, consistant chacun en une pluralité de composants le substrat étant autre chose qu'un corps semi-conducteur, p.ex. étant un corps isolant

94.

Semiconductor memory device, method of manufacturing the same, and electronic device including the semiconductor memory device

      
Numéro d'application 16957468
Numéro de brevet 11361799
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-09-21
Date de la première publication 2021-03-11
Date d'octroi 2022-06-14
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A semiconductor memory device including a substrate; an array of memory cells arranged in rows and columns on the substrate, each memory cell comprising a vertical pillar-shaped active region having upper and lower source/drain regions and a channel region, and a gate stack formed around the channel region; a plurality of bit lines on the substrate, each bit line located below a column of memory cells and electrically connected to the lower source/drain regions of the memory cells; and a plurality of word lines on the substrate, each word line extending in a row direction and connected to gate conductors of the memory cells in a row of memory cells, each word line comprising first portions extending along peripheries of the memory cells and second portions extending between the first portions, the first portions of the word line extending in a conformal manner with sidewalls of the upper source/drain regions.

Classes IPC  ?

  • G11C 5/06 - Dispositions pour interconnecter électriquement des éléments d'emmagasinage
  • H01L 27/11556 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
  • H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • G11C 16/08 - Circuits d'adressage; Décodeurs; Circuits de commande de lignes de mots
  • G11C 16/24 - Circuits de commande de lignes de bits
  • H01L 27/11524 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
  • H01L 27/11529 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par la région de circuit périphérique de régions de mémoire comprenant des transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
  • H01L 27/1157 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
  • H01L 27/11573 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région de circuit périphérique

95.

Semiconductor device, method of manufacturing the same and electronic device including the device

      
Numéro d'application 17033284
Numéro de brevet 11695074
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-09-25
Date de la première publication 2021-03-11
Date d'octroi 2023-07-04
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

There are provided a semiconductor device, a method of manufacturing the same, and an electronic device including the device. According to an embodiment, the semiconductor device may include a substrate, and a first device and a second device formed on the substrate. Each of the first device and the second device includes a first source/drain layer, a channel layer and a second source/drain layer stacked on the substrate in sequence, and also a gate stack surrounding a periphery of the channel layer. The channel layer of the first device and the channel layer of the second device are substantially co-planar.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/786 - Transistors à couche mince
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 21/225 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase solide, p.ex. une couche d'oxyde dopée
  • H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
  • H01L 21/3065 - Gravure par plasma; Gravure au moyen d'ions réactifs
  • H01L 21/223 - Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire en utilisant la diffusion dans ou hors d'un solide, à partir d'une ou en phase gazeuse

96.

Semiconductor device and preparation method thereof

      
Numéro d'application 17041393
Numéro de brevet 11508809
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-09-12
Date de la première publication 2021-03-11
Date d'octroi 2022-11-22
Propriétaire Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s)
  • Tang, Yidan
  • Liu, Xinyu
  • Bai, Yun
  • Dong, Shengxu
  • Yang, Chengyue

Abrégé

The present disclosure discloses a semiconductor device and a preparation method thereof. The semiconductor device includes: an N+ substrate, a plurality of openings opening toward a back surface formed in the N+ substrate; an N− epitaxial layer formed on the N+ substrate, the N− epitaxial layer including: an active area epitaxial layer including a plurality of P++ area rings and a plurality of groove structures, wherein single groove structure is formed on single P++ area ring; a terminal area epitaxial layer including an N+ field stop ring and a plurality of P+ guard rings; a Schottky contact formed on the active area epitaxial layer, a passivation layer formed on the terminal area epitaxial layer, and ohmic contacts formed on the back surface of the N+ substrate and in the plurality of openings.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/47 - Electrodes à barrière de Schottky
  • H01L 29/872 - Diodes Schottky
  • H01L 29/40 - Electrodes
  • H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique

97.

Semiconductor device with compact contact portion, method of manufacturing the same and electronic device including the same

      
Numéro d'application 16966862
Numéro de brevet 11329149
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-10-31
Date de la première publication 2021-02-11
Date d'octroi 2022-05-10
Propriétaire Institute of Microelectronics, The Chinese Academy of Sciences (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

There are provided a vertical semiconductor device, a method of manufacturing the same, and an electronic device including the same. According to an embodiment, the semiconductor device may include a vertical active region disposed on a substrate and comprising a first source/drain layer, a channel layer and a second source/drain layer which are stacked in sequence; a gate stack surrounding at least a part of a periphery of the channel layer; and at least one of: a first electrical connection component for the first source/drain layer, comprising a first contact portion disposed above a top surface of the active region and a first conductive channel in contact with the first contact portion and extending from the top surface of the active region to be in contact with at least a part of sidewalls of the first source/drain layer; and a second electrical connection component for the gate stack, comprising a second contact portion disposed above the top surface of the active region and a second conductive channel in contact with the second contact portion and extending from the top surface of the active region to be in contact with at least a part of sidewalls of a gate conductor layer in the gate stack.

Classes IPC  ?

  • H01L 29/778 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à deux dimensions, p.ex. transistors à effet de champ à haute mobilité électronique HEMT
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

98.

Parallel structure, method of manufacturing the same, and electronic device including the same

      
Numéro d'application 17042832
Numéro de brevet 11631669
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-10-31
Date de la première publication 2021-01-28
Date d'octroi 2023-04-18
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

A parallel structure comprising source/drain and channel layers alternately stacked on a substrate, and gate stacks formed around peripheries of the channel layers. Each of the channel layers, the source/drain layers on upper and lower sides of the channel layer, and the gate stack formed around the channel layer, form a semiconductor device. In each semiconductor device, one of the source/drain layers is in contact with a first electrically-conductive channel disposed on an outer periphery of the active region, the other is in contact with a second electrically-conductive channel on the outer periphery of the active region, and the gate stack is in contact with a third electrically-conductive channel disposed on the outer periphery of the active region. The first electrically-conductive channel is common to the semiconductor devices, the second electrically-conductive channel is common to the semiconductor devices, and the third electronically-conductive channel is common to the semiconductor devices.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
  • H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
  • H01L 21/77 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun
  • H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

99.

SEMICONDUCTOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

      
Numéro d'application 17037350
Statut En instance
Date de dépôt 2020-09-29
Date de la première publication 2021-01-21
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s) Zhu, Huilong

Abrégé

Provided are a semiconductor arrangement and a method for manufacturing the same. An example arrangement may comprise: a bulk semiconductor substrate; a fin formed on the substrate; a first FinFET and a second FinFET formed on the substrate, wherein the first FinFET comprises a first gate stack intersecting the fin and a first gate spacer disposed on sidewalls of the first gate stack, the second FinFET comprises a second gate stack intersecting the fin and a second gate spacer disposed on sidewalls of the second gate stack; a dummy gate spacer formed between the first FinFET and the second FinFET and intersecting the fin; a first isolation section self-aligned to a space defined by the dummy gate spacer, wherein the isolation section electrically isolates the first FinFET from the second FinFET; and a second isolation layer disposed under a bottom surface of the first isolation section.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 21/761 - Jonctions PN
  • H01L 21/762 - Régions diélectriques
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  • H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
  • H01L 21/265 - Bombardement par des radiations ondulatoires ou corpusculaires par des radiations d'énergie élevée produisant une implantation d'ions

100.

Semiconductor arrangement having continuous spacers and method of manufacturing the same

      
Numéro d'application 17039755
Numéro de brevet 11251183
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-09-30
Date de la première publication 2021-01-21
Date d'octroi 2022-02-15
Propriétaire INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES (Chine)
Inventeur(s)
  • Zhu, Huilong
  • Zhang, Yanbo
  • Zhong, Huicai

Abrégé

A semiconductor arrangement includes: a substrate; fins formed on the substrate and extending in a first direction; gate stacks formed on the substrate and each extending in a second direction crossing the first direction to intersect at least one of the fins, and dummy gates composed of a dielectric and extending in the second direction; spacers formed on sidewalls of the gate stacks and the dummy gates; and dielectric disposed between first and second ones of the gate stacks in the second direction to electrically isolate the first and second gate stacks. The dielectric is disposed in a space surrounded by respective spacers of the first and second gate stacks which extend integrally. At least a portion of an interval between the first and second gate stacks in the second direction is less than a line interval achievable by lithography in a process of manufacturing the semiconductor arrangement.

Classes IPC  ?

  • H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
  • H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
  • H01L 21/8234 - Technologie MIS
  • H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
  1     2     3     ...     5        Prochaine page