Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lai, Pei Ying
Chen, Yi Hsuan
Chen, Yen-Fu
Xu, Jia-Yun
Hou, Cheng-Hao
Lee, Da-Yuan
Chui, Chi On
Abrégé
A first n-type transistor includes a first channel component, an undoped first gate dielectric layer disposed over the first channel component, and a first gate electrode disposed over the undoped first gate dielectric layer. A second n-type transistor includes a second channel component and a doped second gate dielectric layer disposed over the second channel component. The second gate dielectric layer is doped with a p-type dipole material. A second gate electrode is disposed over the second gate dielectric layer. At least one of the first n-type transistor or the second n-type transistor further includes an aluminum-free conductive layer. The aluminum-free conductive layer is disposed between the first gate dielectric layer and the first gate electrode or between the second gate dielectric layer and the second gate electrode.
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
2.
BUTTED CONTACTS AND METHODS OF FABRICATING THE SAME IN SEMICONDUCTOR DEVICES
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
You, Jia-Chuan
Chang, Chia-Hao
Lin, Tien-Lu
Lin, Yu-Ming
Wang, Chih-Hao
Abrégé
A semiconductor structure includes a metal gate structure, a first gate spacer disposed on a first side of the metal gate structure, a source/drain feature disposed adjacent to the first gate spacer, a dielectric structure disposed over the source/drain feature, the first gate spacer, and the metal gate structure, and a contact feature disposed in the dielectric structure and electrically connected to the metal gate structure and the source/drain feature. The first gate spacer is between the source/drain feature and the metal gate structure. The contact feature straddles over the first gate spacer and has a tilted sidewall intersecting with the metal gate structure.
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
3.
SEMICONDUCTOR DEVICE INTEGRATING BACKSIDE POWER GRID AND RELATED INTEGRATED CIRCUIT AND FABRICATION METHOD
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Chih-Liang
Chou, Lei-Chun
Liu, Jack
Sio, Kam-Tou
Yang, Hui-Ting
Lin, Wei-Cheng
Liou, Chun-Hung
Tzeng, Jiann-Tyng
Young, Chew-Yuen
Abrégé
A semiconductor device includes a substrate, a dielectric region, a first fin structure, a second fin structure, a plurality of conductive regions, a first conductive rail and a conductive structure. The dielectric region is situated on the substrate. The first fin structure protrudes from the substrate and the dielectric region. The second fin structure protrudes from the substrate and the dielectric region, and extends parallel to the first fin structure. The conductive regions are situated on the dielectric region. The first conductive rail is situated within the dielectric region, and electrically connected to a first conductive region of the plurality of conductive regions. Opposite sides of the first conductive rail face the first fin structure and the second fin structure, respectively. The conductive structure penetrates through the substrate and formed under the first conductive rail, and is electrically connected to the first conductive rail.
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
H01L 23/535 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions internes, p.ex. structures d'interconnexions enterrées
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Roth, Alan
Soenen, Eric
Abrégé
An integrated circuit includes a first conductive path over a substrate, a coil structure over the substrate, and a ferromagnetic ring. The first conductive path is configured to generate a first time-varying magnetic field based on a first time-varying current. The coil structure is configured to generate an induced electrical potential responsive to the first time-varying magnetic field. The ferromagnetic ring includes an open portion. The first conductive path extending through the open portion of the ferromagnetic ring. The first conductive path includes a first conductive line on a first level that is below the ferromagnetic ring, a second conductive line on a second level that is above the ferromagnetic ring, and a first via on a third level that is coplanar with the ferromagnetic ring, the first via electrically coupling the first conductive line and the second conductive line together.
G01R 15/18 - Adaptations fournissant une isolation en tension ou en courant, p.ex. adaptations pour les réseaux à haute tension ou à courant fort utilisant des dispositifs inductifs, p.ex. des transformateurs
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
5.
PACKAGE STRUCTURE INCLUDING LOWER MOLDED STRUCTURE INCLUDING A SUBSTRATE PORTION, AND METHODS OF FORMING THE PACKAGE STRUCTURE
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Wang, Tsung-Ding
Lee, Chien-Hsun
Hou, Shang-Yun
Hou, Hao-Cheng
Chen, Chin-Liang
Abrégé
A package structure includes an interposer including a front side and a back side opposite the front side, an upper molded structure on the front side of the interposer and including an upper molding layer and a semiconductor die in the upper molding layer, and a lower molded structure on the back side of the interposer and including a lower molding layer and a substrate portion in the lower molding layer, wherein the substrate portion includes conductive layers electrically coupled to the semiconductor die through the interposer.
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 25/10 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs ayant des conteneurs séparés
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Kuo, Fu-Chiang
Kung, Po Cheng
Chen, Hsin-Liang
Abrégé
The present disclosure provides an integrated circuit (IC) structure that includes a first substrate having an integrated circuit formed thereon; a second substrate bonded to the first substrate; and a deep trench capacitor formed on the second substrate and electrically connected to the integrated circuit. The deep trench capacitor includes a stack of conductive layers and dielectric layers disposed in deep trenches, and conductive plugs landing on the conductive layers, respectively. Each of the conductive plugs includes a first metal layer, a second metal layer disposed on the first metal layer, and a third metal layer disposed on the second metal layer. The first, second and third metal layers are different in composition.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiu, Yi-Hsun
Huang, Chia-En
Abrégé
A semiconductor structure includes a substrate having a frontside and a backside; a static random-access memory (SRAM) circuit having SRAM bit cells formed on the frontside of the substrate, wherein each of the SRAM bit cells including two inverters cross-coupled together, and a first and second pass gates coupled to the two inverters; a first bit-line disposed on the frontside of the substrate and connected to the first pass gate; and a second bit-line disposed on the backside of the substrate and connected to the second pass gate.
G11C 11/412 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors formant des cellules avec réaction positive, c. à d. des cellules ne nécessitant pas de rafraîchissement ou de régénération de la charge, p.ex. multivibrateur bistable, déclencheur de Schmitt utilisant uniquement des transistors à effet de champ
G11C 11/417 - Circuits auxiliaires, p.ex. pour l'adressage, le décodage, la commande, l'écriture, la lecture, la synchronisation ou la réduction de la consommation pour des cellules de mémoire du type à effet de champ
H10B 10/00 - Mémoires statiques à accès aléatoire [SRAM]
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Liu, Hsu-Lun
Lu, Wen-Hsiung
Cheng, Ming-Da
Yen, Chen-En
Yang, Cheng-Lung
Huang, Kuanchih
Abrégé
Some devices included a substrate; and a through via, including a plurality of scallops adjacent the through via in a first region and a plurality of scallops adjacent the through via in a second region, the plurality of scallops having a first depth, the scallops having a greater depth. Some devices include an opening extending into a substrate, including a first region and a second region. Sidewalls of the opening include a stack of first concave portions extending a first distance into the first substrate, and a stack of second concave portions extending a second distance, greater than and parallel to the first distance, into the first substrate. A conductor partially fills the first concave portions and at least partially fills the respective second concave portions.
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/60 - Protection contre les charges ou les décharges électrostatiques, p.ex. écrans Faraday
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chuang, Chia-Lin
Chang, Chia-Hao
Wang, Sheng-Tsung
Huang, Lin-Yu
Lin, Tien-Lu
Lin, Yu-Ming
Wang, Chih-Hao
Abrégé
The present disclosure provides a semiconductor structure. The structure includes a semiconductor substrate, a gate stack over a first portion of a top surface of the semiconductor substrate; and a laminated dielectric layer over at least a portion of a top surface of the gate stack. The laminated dielectric layer includes at least a first sublayer and a second sublayer. The first sublayer is formed of a material having a dielectric constant lower than a dielectric constant of a material used to form the second sublayer and the material used to form the second sublayer has an etch selectivity higher than an etch selectivity of the material used to form the first sublayer.
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
10.
SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiang, Kuo-Cheng
Chen, Guan-Lin
Huang, Yu-Xuan
Cai, Jin
Wang, Chih-Hao
Abrégé
A semiconductor structure includes a channel layer, a top source/drain feature, a bottom source/drain feature, a gate structure, and a supporting structure. The channel layer extends in a Z-direction. The top source/drain feature is over and electrically connected to the channel layer. The bottom source/drain feature is under and electrically connected to the channel layer. The gate structure laterally wraps around the channel layer. The supporting structure extends in an X-direction. The supporting structure is in contact with the channel layer, the top source/drain feature, and the bottom source/drain feature in a Y-direction.
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Song, Mingyuan
Lin, Shy-Jay
Gallagher, William J.
Noguchi, Hiroki
Abrégé
A magnetic memory device includes a magnetic tunnel junction (MTJ) stack, a spin-orbit torque (SOT) induction wiring disposed over the MTJ stack, a first terminal coupled to a first end of the SOT induction wiring, a second terminal coupled to a second end of the SOT induction wiring, and a selector layer coupled to the first terminal.
H10N 50/80 - Dispositifs galvanomagnétiques - Détails de structure
G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Ching-Hui
Cheng, Chun-Ren
Huang, Shih-Fen
Huang, Fu-Chun
Abrégé
In some embodiments, a piezoelectric biosensor is provided. The piezoelectric biosensor includes a semiconductor substrate. A first electrode is disposed over the semiconductor substrate. A piezoelectric structure is disposed on the first electrode. A second electrode is disposed on the piezoelectric structure. A sensing reservoir is disposed over the piezoelectric structure and exposed to an ambient environment, where the sensing reservoir is configured to collect a fluid comprising a number of bio-entities.
H10N 30/30 - Dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs à entrée mécanique et sortie électrique, p.ex. fonctionnant comme générateurs ou comme capteurs
G01N 27/414 - Transistors à effet de champ sensibles aux ions ou chimiques, c. à d. ISFETS ou CHEMFETS
H10N 30/05 - Fabrication de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs multicouches ou de leurs parties constitutives, p.ex. en empilant des corps piézo-électriques et des électrodes
H10N 30/08 - Mise en forme ou usinage de corps piézo-électriques ou électrostrictifs
H10N 30/87 - Dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs - Détails de structure Électrodes ou interconnexions, p.ex. connexions électriques ou bornes
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lee, Shao-Kuan
Wu, Yung-Hsu
Lee, Cheng-Chin
Chen, Hai-Ching
Huang, Hsin-Yen
Shue, Shau-Lin
Abrégé
A structure is provided that includes a first conductive component and a first interlayer dielectric (ILD) that surrounds the first conductive component. A self-assembly layer is formed on the first conductive component but not on the first ILD. A first dielectric layer is formed over the first ILD but not over the first conductive component. A second ILD is formed over the first conductive component and over the first ILD. An opening is etched in the second ILD. The opening is at least partially aligned with the first conductive component. The first dielectric layer protects portions of the first ILD located therebelow from being etched. The opening is filled with a conductive material to form a second conductive component in the opening.
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LIMITED (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chou, Chih-Wei
Lin, Sheng-Yuan
Chi, Yuan-Hsin
Chou, Yin-Tun
Wang, Hung-Chih
Liu, Yu-Chi
Abrégé
A wafer pod transfer assembly includes a wafer pod port to receive a wafer pod, a transfer axle coupled to the wafer pod port, a shaft receiver, a shaft coupled to the transfer axle and to the shaft receiver, a pin through the shaft receiver and through the shaft, wherein the pin comprises a first end and a second end, opposite the first end, and a pin buckle including a first loop and a second loop. The pin buckle is coupled to the pin, the first loop encircles the first end of the pin, and the second loop encircles the second end of the pin.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
15.
METHODS OF GENERATING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Cheng, Wei-Shin
Chang, Han-Lung
Chen, Li-Jui
Cheng, Po-Chung
Chang, Hsiao-Lun
Abrégé
A metal reuse system for an extreme ultra violet (EUV) radiation source apparatus includes a first metal collector for collecting metal from vanes of the EUV radiation source apparatus, a first metal storage coupled to the first metal collector via a first conduit, a metal droplet generator coupled to the first metal storage via a second conduit, and a first metal filtration device disposed on either one of the first conduit and the second conduit.
H05G 2/00 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
G05D 7/06 - Commande de débits caractérisée par l'utilisation de moyens électriques
16.
PACKAGE STRUCTURE INCLUDING STACKED PILLAR PORTIONS AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chang, Jung-Hua
Lu, Szu-Wei
Shih, Ying-Ching
Abrégé
A semiconductor structure including an integrated circuit die and conductive bumps is provided. The integrated circuit die includes bump pads. The conductive bumps are disposed on the bump pads. Each of the conductive bumps includes a first pillar portion disposed on one of the bump pads and a second pillar portion disposed on the first pillar portion. The second pillar portion is electrically connected to one of the bump pads through the first pillar portion, wherein a first width of the first pillar portion is greater than a second width of the second pillar portion. A package structure including the above-mentioned semiconductor structure is also provided.
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
17.
THRESHOLD VOLTAGE TUNING USING A MULTIPLE DIPOLE LOOP PROCESS FOR CFET DEVICES
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Ming-Ho
Chuang, Yao-Teng
Hou, Cheng-Hao
Lin, Tsung-Da
Lee, Da-Yuan
Chui, Chi On
Abrégé
A method of forming a semiconductor device includes forming a CFET structure having a bottom gate region having a first plurality of gate dielectric layers wrapping around a first plurality of channels and a top gate region having a second plurality of gate dielectric layers wrapping around a second plurality of channels. The method includes performing a first dipole loop process to drive first dipole dopants into the first plurality of gate dielectric layers and performing a second dipole loop process to drive second dipole dopants into the second plurality of gate dielectric layers. And after performing the first and second dipole loop processes, the method includes depositing a gate metal over the first and second plurality of gate dielectric layers.
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 21/822 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels pour produire des dispositifs, p.ex. des circuits intégrés, consistant chacun en une pluralité de composants le substrat étant un semi-conducteur, en utilisant une technologie au silicium
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
18.
SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING STRAINED CHANNEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Pai, Chia-Ling
Chang, Hsiang-Pi
Lee, Shen-Yang
Yen, Fu-Ting
Chao, Huang-Lin
Lin, Pinyen
Chang, I-Ming
Abrégé
A method for manufacturing a semiconductor device includes: forming a semiconductor stack on a semiconductor substrate in a flat state, the semiconductor stack including sacrificial layer portions and channel layer portions that are alternately stacked over one another; forming source/drain trenches in the semiconductor stack, each of the source/drain trenches penetrating the channel layer portions, the sacrificial layer portions and an upper portion of the semiconductor substrate, and terminating at a lower portion of the semiconductor substrate, so as to form the channel layer portions into channel features and form the sacrificial layer portions into sacrificial features; transforming the semiconductor substrate from the flat state to a bending state; forming source/drain regions in the source/drain trenches, respectively; and reverting the semiconductor substrate from the bending state back to the flat state, so as to induce a strain in the channel features.
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
19.
SENSING AMPLIFIER, METHOD AND CONTROLLER FOR SENSING MEMORY CELL
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Noguchi, Hiroki
Lin, Ku-Feng
Wang, Yih
Abrégé
A sensing amplifier, coupled to at least one memory cell, includes an output terminal and a reference terminal, a multiplexer circuit, and a plurality of reference cells having equal value. An output terminal of the multiplexer circuit is coupled to the reference terminal of the sensing amplifier. Each of the reference cell is coupled to each input node of the multiplexer circuit. The multiplexer circuit is controlled by a control signal to select one of the reference cells as a selected reference cell to couple to the reference terminal of the sensing amplifier when each read operation to the at least one memory cell is performed. The plurality of reference cells are selected sequentially and repeatedly, and the one of the reference cells is selected for one read operation to the at least one memory cell.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Yung-Chi
Chung, Ming-Tsu
Tsai, Yan-Zuo
Abrégé
A semiconductor device includes a first die. The first die includes a first dielectric bonding layer thereon and a plurality of first dielectric bonding patterns in the first dielectric bonding layer. A composition of the first dielectric bonding patterns is different from a composition of the first dielectric bonding layer.
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 23/544 - Marques appliquées sur le dispositif semi-conducteur, p.ex. marques de repérage, schémas de test
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
21.
THREE-DIMENSIONAL DEVICE STRUCTURE INCLUDING SEAL RING CONNECTION CIRCUIT
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chang, Jen-Yuan
Lee, Chien-Chang
Lai, Chia-Ping
Abrégé
A three-dimensional device structure includes a first die, a second die disposed on the first die, and a connection circuit. The first die includes a first semiconductor substrate, a first interconnect structure disposed on the first semiconductor substrate, and a first seal ring surrounding the interconnect structure. The second die includes a second semiconductor substrate, a second interconnect structure disposed on the second semiconductor substrate, and a second seal ring surrounding the interconnect structure. The first connection circuit electrically couples the first seal ring to the second seal ring to provide an electrostatic discharge path.
H01L 23/10 - Conteneurs; Scellements caractérisés par le matériau ou par la disposition des scellements entre les parties, p.ex. entre le couvercle et la base ou entre les connexions et les parois du conteneur
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 23/535 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions internes, p.ex. structures d'interconnexions enterrées
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
H01L 23/60 - Protection contre les charges ou les décharges électrostatiques, p.ex. écrans Faraday
H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
22.
FIN FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND METHOD OF FORMING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiu, Te-Hsin
Sio, Kam-Tou
Tzeng, Jiann-Tyng
Abrégé
A semiconductor device includes a semiconductor substrate. The semiconductor device includes a first fin protruding from the semiconductor substrate and extending along a first direction. The semiconductor device includes a second fin protruding from the semiconductor substrate and extending along the first direction. A first epitaxial source/drain region coupled to the first fin and a second epitaxial source/drain region coupled to the second fin are laterally spaced apart from each other by an air void.
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiu, Yen-Cheng
Khwa, Win-San
Chang, Meng-Fan
Abrégé
A memory device includes a current source and a memory array. The current source is configured to provide a current to a first node. The memory array is coupled to the current source at the first node. The memory array includes memory cells. First terminals of the memory cells are coupled to the first node. Each of the memory cells has a first resistance in response to having a first data value, and has a second resistance in response to having a second data value. The second data value is N times the first data value. The second resistance is approximately one-Nth of the first resistance, for N being a positive integer larger than one. A method of operating a memory device is also disclosed herein.
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Huang, Yu-Xuan
Lu, Chi-Yu
Chang, Shang-Wen
Chen, Guan-Lin
Chuang, Cheng-Chi
Abrégé
A method includes forming an epitaxial stack including a first sacrificial layer, a channel layer, and a second sacrificial layer over a semiconductor substrate; patterning the epitaxial stack into a fin structure such that opposite first ends of the channel layer are exposed; recessing the opposite first ends of the channel layer; forming first dummy spacers on the recessed opposite first ends of the channel layer; forming an isolation structure in the fin structure; recessing a top surface of the isolation structure to a position lower than a bottom surface of the channel layer, such that opposite second ends of the channel layer are exposed; recessing the opposite second ends of the channel layer; forming second dummy spacers on the recessed opposite second ends of the channel layer; and replacing the first dummy spacers and the second dummy spacers with a metal gate structure.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Shih-Yao
Feng, Chieh-Ning
Lee, Hsiao Wen
Chen, Chao-Cheng
Abrégé
A semiconductor device includes a dielectric fin between a first semiconductor channel and a second semiconductor channel. The semiconductor device includes a first gate structure. The first gate structure includes a first portion and a second portion separated from each other by the dielectric fin. The semiconductor device includes a first gate spacer that extends along sidewalls of the first portion of the first gate structure. The semiconductor device includes a second gate spacer that extends along sidewalls of the second portion of the first gate structure, respectively. At least one of the first gate spacer or second gate spacer has a first portion with a first thickness and a second portion with a second thickness less than the first thickness, and wherein the first portion is closer to the dielectric fin than the second portion.
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Adolph
Chen, Jung Shiung
Huang, Mao Rong
Shiu, Jet-Luen
Chi, Che-Chuan
Hsieh, Yi-Feng
Chen, Yen-Yu
Abrégé
In some embodiments, a method is provided. The method includes identifying an incident situation based upon a sensor detecting an abnormal condition. One or more life safety systems are queried to obtain life safety system data. One or more databases, comprising equipment information, chemical information, personnel information, and/or emergency response contingency procedures, are queried to obtain on-site information. The life safety system data and the on-site information are integrated together to generate incident situation information. The incident situation information is displayed through an electronic display.
G06F 3/0481 - Techniques d’interaction fondées sur les interfaces utilisateur graphiques [GUI] fondées sur des propriétés spécifiques de l’objet d’interaction affiché ou sur un environnement basé sur les métaphores, p.ex. interaction avec des éléments du bureau telles les fenêtres ou les icônes, ou avec l’aide d’un curseur changeant de comport
G06F 3/0488 - Techniques d’interaction fondées sur les interfaces utilisateur graphiques [GUI] utilisant des caractéristiques spécifiques fournies par le périphérique d’entrée, p.ex. des fonctions commandées par la rotation d’une souris à deux capteurs, ou par la nature du périphérique d’entrée, p.ex. des gestes en fonction de la pression exer utilisant un écran tactile ou une tablette numérique, p.ex. entrée de commandes par des tracés gestuels
G06Q 10/0631 - Planification, affectation, distribution ou ordonnancement de ressources d’entreprises ou d’organisations
G08B 17/00 - Alarmes d'incendie; Alarmes réagissant à une explosion
G08B 21/12 - Alarmes pour assurer la sécurité des personnes réagissant à l'émission indésirable de substances, p.ex. alarmes de pollution
27.
DEFORMATION-RESISTANT INTERPOSER FOR A LOCAL SILICON INTERCONNECT AND METHODS FOR FORMING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Min-Yu
Lai, Po-Chen
Yew, Ming-Chih
Jeng, Shin-Puu
Abrégé
A composite interposer includes a local-silicon-interconnect-containing (LSI-containing) interposer that includes a local silicon interconnect (LSI) bridge; and an organic interposer located on the LSI-containing interposer, including redistribution dielectric layers embedding redistribution wiring interconnects and a metallic counter-deformation structure. The metallic counter-deformation structure includes a plurality of metallic via structures; a first metallic plate located on a first side of the plurality of metallic via structures; and a second metallic plate located on a second side of the plurality metallic via structures and vertically spaced from the first metallic plate.
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H10B 80/00 - Ensembles de plusieurs dispositifs comprenant au moins un dispositif de mémoire couvert par la présente sous-classe
28.
SEMICONDUCTOR PACKAGE STRUCTURE COMPRISING RIGID-FLEXIBLE SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Wang, Chuei-Tang
Yu, Chen-Hua
Liu, Chung-Shi
Chang, Chih-Yuan
Wu, Jiun-Yi
Hsieh, Jeng-Shien
Kuo, Tin-Hao
Abrégé
A manufacturing method of a semiconductor package is provided. The method includes: providing an initial rigid-flexible substrate, wherein the initial rigid-flexible substrate includes rigid structures and a flexible core laterally penetrating through the rigid structures, and further includes a supporting frame connected to the rigid structures; bonding a package structure onto the initial rigid-flexible substrate, wherein the package structure includes semiconductor dies and an encapsulant laterally surrounding the semiconductor dies; and removing the supporting frame.
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
29.
TRENCH GATE HIGH VOLTAGE TRANSISTOR FOR EMBEDDED MEMORY
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Wu, Wei Cheng
Kalnitsky, Alexander
Chang, Chien-Hung
Abrégé
Various embodiments of the present application are directed to an IC, and associated forming methods. In some embodiments, the IC is manufactured by forming a plurality of deep trenches including an isolation trench and a logic device trench from a top surface of a substrate, filling an isolation material in the isolation trench and the logic device trench, removing the isolation material from the logic device trench, forming a first logic device by filling a first logic gate dielectric and a first logic gate electrode in the logic device trench, and forming first and second source/drain regions in the substrate on opposite sides of the logic device trench. The isolation material is kept in the isolation trench to form an isolation structure.
H10B 43/35 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
H01L 21/033 - Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe ou comportant des couches inorganiques
H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H10B 43/50 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région limite entre la région noyau et la région de circuit périphérique
30.
THREE-DIMENSIONAL MEMORY ARRAY WITH LOCAL LINE SELECTOR
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Wu, Chen-Jun
Jiang, Yu-Wei
Lai, Sheng-Chih
Abrégé
The present disclosure relates to an integrated chip including a three-dimensional memory array. The three-dimensional memory array includes a first local line and a second local line that are elongated vertically, a first memory cell extending between the first local line and the second local line, and a second memory cell directly under the first memory cell, extending between the first local line and the second local line, and coupled in parallel with the first memory cell. The first memory cell is coupled to a first word line and the second memory cell is coupled to a second word line. The first word line and the second word line are elongated horizontally. A first global line is disposed at a first height and is elongated horizontally. A first selector extends vertically from the first local line to the first global line.
H10B 43/35 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H10B 41/27 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
H10B 41/35 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région noyau de mémoire avec un transistor de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
31.
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING ON ASSEMBLED WAFER
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Han-De
Tsai, Chen-Fong
Hu, Kuan-Kan
Yang, Ku-Feng
Chui, Chi On
Abrégé
Semiconductor structures and processes of forming the same are provided. A semiconductor structure according to the present disclosure includes a first bottom source/drain feature and a second bottom source/drain feature disposed over a substrate, a plurality of bottom channel members extending between and in contact with the first bottom source/drain feature and the second bottom source/drain feature, a first bonding layer over the plurality of bottom channel members, a second bonding layer disposed directly on the first bonding layer, a first top source/drain feature disposed directly over the first bottom source/drain feature, a second top source/drain feature disposed directly over the second bottom source/drain feature, and a plurality of top channel members disposed over the second bonding layer and extending between and in contact with the first top source/drain feature and the second top source/drain feature.
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Szu-Hua
Chang, Lilin
Cheng, Yahru
Woon, Wei-Yen
Liao, Szuya
Abrégé
A stacked channel structure includes a first channel structure having a first gate dielectric thereon, an isolation structure over the first channel structure, and a second channel structure over the isolation structure. The second channel structure has a second gate dielectric thereon. A method may include forming a dummy layer that has a top surface below the second channel structure, selectively depositing a hard mask over the second gate dielectric, selectively removing the dummy layer, and selectively removing the hard mask after the dummy layer. Deposition parameters and a composition of the dummy layer are configured to inhibit deposition of the hard mask on the dummy layer. A first gate electrode and a second gate electrode may be formed over the first gate dielectric and the second gate dielectric, respectively. The hard mask may be selectively removed before or after forming the first gate electrode.
H01L 21/822 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels pour produire des dispositifs, p.ex. des circuits intégrés, consistant chacun en une pluralité de composants le substrat étant un semi-conducteur, en utilisant une technologie au silicium
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
33.
Nanosheet Devices With Hybrid Structures And Methods Of Fabricating The Same
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiang, Kuo-Cheng
Ju, Shi Ning
Chen, Guan-Lin
Cheng, Jung-Chien
Wang, Chih-Hao
Cheng, Kuan-Lun
Abrégé
A semiconductor structure includes a first stack of active channel layers and a second stack of active channel layers disposed over a semiconductor substrate, where the second stacking include a dummy channel layer and the first stack is free of any dummy channel layer, a gate structure engaged with the first stack and the second stack, and first S/D features disposed adjacent to the first stack and second S/D features disposed adjacent to the second stack, where the second S/D features overlap with the dummy channel layer.
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Kuo-Ju
Huang, Chun-Hsien
Liu, Su-Hao
Chen, Liang-Yin
Chang, Huicheng
Yeo, Yee-Chia
Abrégé
A semiconductor device includes a first dielectric layer disposed over a substrate and a conductive feature, a doped dielectric layer disposed over the first dielectric layer, a first metal portion disposed in the first dielectric layer and in contact with the conductive feature, and a doped metal portion disposed over the first metal portion. The first metal portion and the doped metal portion include a same noble metal material. The doped dielectric layer and the doped metal portion include same dopants. The dopants are bonded to the noble metal material.
H01L 23/532 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées caractérisées par les matériaux
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lee, Kuo-Cheng
Lin, Ping-Hao
Cheng, Yun-Wei
Huang, Bo-Ge
Abrégé
An image sensor device may include a pixel sensor array and a black level correction (BLC) region. The BLC region may include a sensing region in a substrate and a light-blocking layer above the sensing region. An anti-reflection array may be formed in the light-blocking layer. The anti-reflection array includes holes, trenches, and/or other structural features such that the light-blocking layer includes two or more areas in which the top surface of the light-blocking layer is at different heights in the image sensor device. The different heights of the top surface of the light-blocking layer reduce the likelihood of light being reflected off of the light-blocking layer and toward the pixel sensor array. The anti-reflection array may reduce the likelihood of occurrence of flares or hot spots in images generated by the image sensor device, which may increase the image quality of the images generated by the image sensor device.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Tung, Yu-Lung
Wang, Xiaodong
Liaw, Jhon Jhy
Abrégé
In an embodiment, a method includes: placing a first cell in a device layout, the first cell defining a first transistor, the first transistor including a first quantity of first nanostructures; placing a second cell in the device layout directly adjacent to the first cell, the second cell defining a second transistor, the second transistor including a second quantity of second nanostructures, the second quantity being different than the first quantity; generating a lithography mask based on the device layout; and manufacturing a semiconductor device using the lithography mask.
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lee, Yu Chen
Wang, Chin-Hua
Jeng, Shin-Puu
Abrégé
An embodiment semiconductor package includes an interposer, a first semiconductor die electrically coupled to a first side of the interposer, and a first reinforcement structure that is mechanically coupled to the interposer and to the first semiconductor die, such that the first reinforcement structure is a solid structure that is adhered to the interposer and to the first semiconductor die and includes an adhesive strength that is greater than 5 N/mm2 and less than 10 N/mm2. The first reinforcement structure is formed at a corner or at an edge of the first semiconductor die and may have a modulus that is greater than 0.1 GPa and less than 1.0 GPa. The semiconductor package may further include a second semiconductor die electrically coupled to the first side of the interposer and a second reinforcement structure that is mechanically coupled to the interposer and to the second semiconductor die.
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
38.
IMPROVED BONDING STRUCTURES FOR SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF FORMING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Kao, Chin-Fu
Eitan, Amram
Yang, Kai-Hsiang
Sun, Ju-Pin
Abrégé
An embodiment method of forming a hybrid bond between a first semiconductor device component and a second semiconductor device component may include forming the first semiconductor device component including a first electrical bonding structure formed within a first dielectric material; forming the second semiconductor device component including a second electrical bonding structure formed within a second dielectric material; placing the first semiconductor device component and the second semiconductor device component together such that the first electrical bonding structure is in contact with the second electrical bonding structure; performing a first annealing process that forms a direct metal-to-metal bond between the first electrical bonding structure and the second electrical bonding structure; and performing a second annealing process that forms a direct dielectric-to-dielectric bond between the first dielectric material and the second dielectric material.
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Yang, Jih-Sheng
Yin, Li-Wei
Lin, Yu-Hsien
Pan, Tzu-Wen
Chao, Shih-Chieh
Liang, Chia Ming
Lin, Yih-Ann
Chen, Ryan Chia-Jen
Abrégé
Provided are structures and methods for forming structures with surfaces having a W-shaped profile. An exemplary method includes differentially etching a gate material to a recessed surface including a first and second horn and a valley located therebetween including first and second sections and a middle section therebetween; depositing an etch-retarding layer over the recessed surface including first and second edge regions and a central region therebetween, wherein the first edge region is located over the first horn and the first section, the second edge region is located over the second horn and the second section, the central region is located over the middle region, and the central region is thicker than the first edge region and the second edge region; and performing an etch process to recess the horns to establish the gate material with a W-shaped profile.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiang, Hsin-Chih
Lin, Tung-Yang
Liu, Ruey-Hsin
Lei, Ming-Ta
Abrégé
Various embodiments of the present disclosure are directed towards an integrated chip. The integrated chip includes a first well region, a second well region, and a third well region disposed within a semiconductor substrate. The second well region is disposed between the first and second well regions. A first source/drain region is in the first well region. A second source/drain region is in the second well region. A gate structure is on the semiconductor substrate and spaced laterally between the first and second source/drain regions. A contact region is disposed in the third well region. A conductive structure is on the semiconductor substrate and spaced laterally between the second source/drain region and the contact region.
H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant
H01L 21/74 - Réalisation de régions profondes à haute concentration en impuretés, p.ex. couches collectrices profondes, connexions internes
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 21/84 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels pour produire des dispositifs, p.ex. des circuits intégrés, consistant chacun en une pluralité de composants le substrat étant autre chose qu'un corps semi-conducteur, p.ex. étant un corps isolant
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
41.
MULTI-PATTERN IN-PAD SURFACE FOR POLISH RATE CONTROL
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Hsiao, Hau-Yi
Wu, Kuo-Ming
Chen, Sheng-Chau
Abrégé
Some implementations herein describe a chemical-mechanical planarization tool including a polishing pad. The chemical-mechanical planarization tool including the polishing pad may perform a polishing operation to a semiconductor substrate. The polishing operation may generate, along a perimeter of the semiconductor substrate, a roll-off profile that satisfies a threshold. The polishing pad includes two or more regions, where each region includes a different pad surface pattern. Each region including a different pad surface pattern may correspond to a different polishing rate. Techniques using the polishing pad having such zone and pad surface pattern combinations allow for a focused and a controlled polishing of the semiconductor substrate, including along the perimeter of the semiconductor substrate to tightly control the roll-off profile.
B24B 51/00 - Systèmes pour la commande automatique d'une série d'opérations successives du meulage d'une pièce
B24B 7/22 - Machines ou dispositifs pour meuler les surfaces planes des pièces, y compris ceux pour le polissage des surfaces planes en verre; Accessoires à cet effet caractérisés par le fait qu'ils sont spécialement étudiés en fonction des propriétés de la matière des objets non métalliques à meuler pour meuler de la matière inorganique, p.ex. de la pierre, des céramiques, de la porcelaine
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Chien-Hao
Abrégé
A semiconductor structure includes a first multi-gate transistor and a second multi-gate transistor. The first multi-gate transistor includes a first Al-containing high-k dielectric layer having a first Al concentration, and a W-and-N-containing barrier layer. The second multi-gate transistor includes a second Al-containing high-k dielectric layer having a second Al concentration. The first Al concentration is less than the second Al concentration.
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
43.
SYSTEMS AND METHODS FOR SYSTEMATIC PHYSICAL FAILURE ANALYSIS (PFA) FAULT LOCALIZATION
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Peng-Ren
Cheng, Wen-Hao
Chen, Jyun-Hong
Chen, Chien-Hui
Abrégé
Systematic fault localization systems and methods are provided which utilize computational GDS-assisted navigation to accelerate physical fault analysis to identify systematic fault locations and patterns. In some embodiments, a method includes detecting a plurality of electrical fault regions of a plurality of dies of a semiconductor wafer. Decomposed Graphic Database System (GDS) cross-layer clips are generated which are associated with the plurality of electrical fault regions. A plurality of cross-layer common patterns is identified based on the decomposed GDS cross-layer clips. Normalized differentials may be determined for each of the cross-layer common patterns, and locations of hotspots in each of the dies may be identified based on the determined normalized differentials.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/66 - Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
44.
SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURING THEREOF
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Shih-Yao
Lin, Chih-Han
Chang, Ming-Ching
Ku, Shu-Yuan
Wang, Tzu-Chung
Abrégé
A semiconductor device includes a substrate. The semiconductor device includes a dielectric fin that is formed over the substrate and extends along a first direction. The semiconductor device includes a gate isolation structure vertically disposed above the dielectric fin. The semiconductor device includes a gate structure extending along a second direction perpendicular to the first direction. The gate structure includes a first portion and a second portion separated by the gate isolation structure and the dielectric fin. The first portion of the gate structure presents a first beak profile and the second portion of the gate structure presents a second beak profile. The first and second beak profiles point toward each other.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Su, Shu-Hui
Cheng, Hsin-Li
Tsui, Yingkit Felix
Abrégé
Some implementations described herein provide techniques and apparatuses for forming a semiconductor die including a discharge management structure. The discharge management structure may include contact structures (e.g., vertical interconnect access structures, or “vias”) connecting a metal layer to electrode layers of a capacitor structure and to a substrate below the capacitor structure. The contact structures have different cross-sectional areas that, based on Kirchhoff's law, increase a voltage drop between the capacitor structure and the silicon substrate. The voltage drop may reduce a likelihood of an electrical discharge by the capacitor structure that causes damage to the metal layer. By reducing the likelihood of damage to the metal layer, defects that may be associated with vertical interconnect access induced metal island corrosion may be reduced.
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 23/58 - Dispositions électriques structurelles non prévues ailleurs pour dispositifs semi-conducteurs
46.
SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lu, Chun-Fu
Wang, Chih-Hao
Huang, Wang-Chun
Chiang, Kuo-Cheng
Huang, Mao-Lin
Yu, Jia-Ni
Chu, Lung-Kun
Hsu, Chung-Wei
Abrégé
A method for manufacturing a semiconductor structure includes forming first and second channel layers over a substrate, forming first source/drain features over the first and second channel layers, forming a gate dielectric layer wrapping around the first and second channel layers, forming a first work function layer wrapping around the gate dielectric layer, forming a hard mask layer wrapping around the first work function layer, removing portions of the hard mask layer and the first work function layer, removing the hard mask layer and the first work function layer wrapping around the second channel layer, removing the hard mask layer wrapping around the first channel layer, forming a second work function layer wrapping around the first work function layer and the second channel layer, forming a metal material between the second work function layer, and forming second source/drain features under the first and second channel layers.
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Guan-Xuan
Pan, Sheng-Liang
Hung, Chia-Yang
Wang, Po-Chuan
Lin, Huan-Just
Abrégé
A method for making a semiconductor device includes patterning at least one dielectric layer disposed over a conductive cap layer to form a via opening penetrating through the at least one dielectric layer to expose the conductive cap layer and to form a top portion of the conductive cap layer into a metal oxide layer; converting the metal oxide layer to a metal oxynitride layer by a soft ashing process using a processing gas containing nitrogen gas; removing the metal oxynitride layer from a remaining portion of the conductive cap layer; and forming a via contact in the via opening to electrically connect the remaining portion of the conductive cap layer.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Chun-Yen
Hsieh, Tung-Heng
Young, Bao-Ru
Abrégé
A method includes receiving an integrated circuit (IC) design layout including a layout block, where the layout block including first line patterns disposed along a first direction, extending lengths of the first line patterns, connecting portions of the first line patterns disposed within a distance less than a preset value, forming second line patterns disposed outside the layout block parallel to the first line patterns, forming mandrel bar patterns overlapping edges of the layout block, where the mandrel bar patterns oriented along a second direction perpendicular to the first direction, and outputting a pattern layout for mask fabricating, where the pattern layout includes the layout block, the first and second line patterns, and the mandrel bar patterns.
G06F 30/392 - Conception de plans ou d’agencements, p.ex. partitionnement ou positionnement
G06F 30/33 - Vérification de la conception, p.ex. simulation fonctionnelle ou vérification du modèle
G06F 30/398 - Vérification ou optimisation de la conception, p.ex. par vérification des règles de conception [DRC], vérification de correspondance entre géométrie et schéma [LVS] ou par les méthodes à éléments finis [MEF]
49.
EXTENDED REALITY CONTENT DISPLAY BASED ON A CONTEXT
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Agrawal, Tushar
Compton, Christian
Fox, Jeremy R.
Rakshit, Sarbajit K.
Abrégé
An extended reality (XR) platform may determine one or more parameters for displaying XR content. The XR platform may receive a request to display the XR content from an XR device associated with a user. The XR platform may determine the one or more display parameters based on a context associated with the XR device and/or the user of the XR device.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Fang, Yeh-Hsun
Wang, Chiao-Chi
Tseng, Chung-Chuan
Lai, Chia-Ping
Abrégé
A method includes forming a plurality of openings extending into a substrate from a front surface of the substrate. The substrate includes a first semiconductor material. Each of the plurality of openings has a curve-based bottom surface. The method includes filling the plurality of openings with a second semiconductor material. The second semiconductor material is different from the first semiconductor material. The method includes forming a plurality of pixels that are configured to sense light in the plurality of openings, respectively, using the second semiconductor material.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Li-Fong
Huang, Yen-Chun
Wu, Zhen-Cheng
Chui, Chi On
Peng, Chih-Tang
Chen, Yu Ying
Abrégé
Provided are semiconductor devices and methods for manufacturing semiconductor devices. A method deposits conformal material to form a conformal liner in the trench and modifies the conformal liner such an upper liner portion is modified more than a lower liner portion. The deposition and modifying steps are repeated while a rate of deposition of the conformal material over a non-modified surface of the conformal liner is faster than a rate of deposition of the conformal material over a modified surface of the conformal liner to form a remaining unfilled gap with a V-shape. The method further includes depositing a conformal material in the remaining unfilled gap.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Su, Huan-Chieh
Wang, Chih-Hao
Chiang, Kuo-Cheng
Wu, Wei-Hao
Lin, Zhi-Chang
Yu, Jia-Ni
Lin, Yu-Ming
Hsu, Chung-Wei
Abrégé
A semiconductor device includes a semiconductor layer. A gate structure is disposed over the semiconductor layer. A spacer is disposed on a sidewall of the gate structure. A height of the spacer is greater than a height of the gate structure. A liner is disposed on the gate structure and on the spacer. The spacer and the liner have different material compositions.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Peng, Cheng-Yi
Chen, Wen-Yuan
Hsieh, Wen-Hsing
Hsu, Yi-Ju
Ho, Jon-Hsu
Lee, Song-Bor
Tien, Bor-Zen
Abrégé
A method of manufacturing a semiconductor device, a plurality of fin structures are formed over a semiconductor substrate. The fin structures extend along a first direction and are arranged in a second direction crossing the first direction. A plurality of sacrificial gate structures extending in the second direction are formed over the fin structures. An interlayer dielectric layer is formed over the plurality of fin structures between adjacent sacrificial gate structures. The sacrificial gate structures are cut into a plurality of pieces of sacrificial gate structures by forming gate end spaces along the second direction. Gate separation plugs are formed by filling the gate end spaces with two or more dielectric materials. The two or more dielectric materials includes a first layer and a second layer formed on the first layer, and a dielectric constant of the second layer is smaller than a dielectric constant of the first layer.
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
Global Unichip Corporation (Taïwan, Province de Chine)
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Liao, Huan-Yi
Cheng, Yu-Lin
Yeh, Chi-Lou
Yang, Sheng-Fan
Abrégé
A high-frequency transmission element is provided. The high-frequency transmission element includes a connecting wire structure and an impedance matching plate structure. The connecting wire structure includes a connecting wire and a connecting pad. The connecting pad is located at an end of the connecting wire. The impedance matching plate structure includes an impedance matching plate body, an opening, and an impedance matching portion. The connecting pad is located in a projection range of the opening in a direction of orthographic projection of the impedance matching plate structure. The impedance matching portion is located in a periphery of the opening and extends in the direction from the connecting wire towards the connecting pad.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lu, Chun-Chieh
Chia, Han-Jong
Yeong, Sai-Hooi
Young, Bo-Feng
Lin, Yu-Ming
Abrégé
Provided is a ferroelectric memory device having a dielectric layer vertically interleaved between a first conductive line and a second conductive line. A first ferroelectric portion is arranged along a sidewall of the first conductive line and a second ferroelectric portion is arranged along a sidewall of the second conductive line. A channel layer is arranged along sides of the dielectric layer, the first conductive line, and the second conductive line. A topmost surface of the first ferroelectric portion is vertically separated from a bottommost surface of the second ferroelectric portion by the channel layer.
H10B 51/30 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la région noyau de mémoire
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H10B 51/20 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
56.
SEMICONDUCTOR PACKAGE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Huang, Yu-Chih
Chang, Chih-Hao
Lin, Po-Chun
Lu, Chun-Ti
Tsai, Zheng-Gang
Chen, Shih-Wei
Liu, Chia-Hung
Tsai, Hao-Yi
Liu, Chung-Shi
Abrégé
A semiconductor package and a manufacturing method for the semiconductor package are provided. The semiconductor package includes a molded semiconductor device, a first redistribution structure, and conductive vias. The molded semiconductor device comprises a sensor die with a first surface and a second surface opposite the first surface, wherein the sensor die has an input/output region and a sensing region at the first surface. The first redistribution structure is disposed on the first surface of the sensor die, wherein the first redistribution structure covers the input/output region and exposes the sensing region, and the first redistribution structure comprises a conductive layer having a redistribution pattern and a ring structure. The redistribution pattern is electrically connected with the sensor die. The ring structure surrounds the sensing region and is separated from the redistribution pattern, wherein the ring structure is closer to the sensing region than the redistribution pattern. The conductive vias extend through the molded semiconductor device and are electrically connected with the redistribution pattern.
H01L 23/58 - Dispositions électriques structurelles non prévues ailleurs pour dispositifs semi-conducteurs
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Yeh, Ching-Fu
Chan, Yu-Chen
Luo, Guanyu
Lu, Meng-Pei
Peng, Chao-Hsien
Yang, Shin-Yi
Lee, Ming-Han
Li, Shu-Wei
Abrégé
A semiconductor device includes an interconnect structure embedded in a first metallization layer comprising a dielectric material. The interconnect structure includes a first metal material. The semiconductor device includes a first liner structure embedded in the first metallization layer. The first liner structure is extended along one or more boundaries of the interconnect structure in the first metallization layer. The first liner structure includes a second metal material reacted with one or more dopants, the second metal material being different from the first metal material.
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 23/532 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées caractérisées par les matériaux
58.
SEMICONDUCTOR DEVICE STRUCTURE AND METHODS OF FORMING THE SAME
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
More, Shahaji B.
Lee, Cheng-Han
Ma, Jia-Ying
Abrégé
A semiconductor device structure, along with methods of forming such, are described. The semiconductor device structure includes a first source/drain epitaxial feature disposed in an NMOS region, a second source/drain epitaxial feature disposed in the NMOS region, a first dielectric feature disposed between the first source/drain epitaxial feature and the second source/drain epitaxial feature, a third source/drain epitaxial feature disposed in a PMOS region, a second dielectric feature disposed between the second source/drain epitaxial feature and the third source/drain epitaxial feature, and a conductive feature disposed over the first, second, and third source/drain epitaxial features and the first and second dielectric features.
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 21/285 - Dépôt de matériaux conducteurs ou isolants pour les électrodes à partir d'un gaz ou d'une vapeur, p.ex. condensation
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Singh, Gulbagh
Chuang, Kun-Tsang
Chen, Hsin-Chi
Abrégé
A semiconductor device includes a substrate, a gate oxide layer formed on the substrate, a gate formed on the gate oxide layer, and a spacer formed adjacent the gate and over the substrate. The spacer includes a void filled with air to prevent leakage of charge to and from the gate, thereby reducing data loss and providing better memory retention. The reduction in charge leakage results from reduced parasitic capacitances, fringing capacitances, and overlap capacitances due to the low dielectric constant of air relative to other spacer materials. The spacer can include multiple layers such as oxide and nitride layers. In some embodiments, the semiconductor device is a multiple-time programmable (MTP) memory device.
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/788 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à grille flottante
H10B 41/35 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région noyau de mémoire avec un transistor de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
60.
BONDING TECHNIQUES FOR STACKED TRANSISTOR STRUCTURES
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Han-De
Tsai, Chen-Fong
Chui, Chi On
Abrégé
Bonding techniques for stacked device structures are disclosed herein. An exemplary method includes forming a first insulation layer on a first device component and a second insulation layer on a second device component. A plasma activation process is performed to the first insulation layer and the second insulation layer. After the plasma activation process, an upper portion of the first insulation layer and the second insulation layer includes a plasma activated layer and a lower portion of the first insulation layer and the second insulation layer includes a barrier layer. The plasma activated layers of respective ones of the first insulation layer and the second insulation layer are bonded to form a stacked structure that includes the first device component over the second device component. The first insulation layer bonded to the second insulation layer forms an isolation structure between the first device component and the second device component.
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
61.
SEMICONDUCTOR STRUCTURE HAVING A BUTTED CONTACT AND METHOD OF FORMING
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chuang, You Che
Lee, Chih-Ming
Chen, Hsin-Chi
Huang, Hsun-Ying
Abrégé
A static random access memory (SRAM) cell includes a first pull-up (PU) transistor comprising a first gate structure. The SRAM cell further includes a second PU transistor comprising a second gate structure, wherein the second gate structure comprises a gate stack and gate spacers. The SRAM cell further includes a first butted contact, wherein the first butted contact electrically connects a first terminal of the first PU transistor to the second gate structure, wherein the first butted contact directly contacts each of a top surface and a sidewall of the gate stack.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Tsann
Lee, Chien-Min
Ying, Ji-Feng
Abrégé
Some embodiments relate to an integrated chip including a bottom electrode over a semiconductor substrate. A seed layer overlies the bottom electrode. A data storage structure is arranged on the seed layer. A first buffer layer is arranged between the bottom electrode and the seed layer. The first buffer layer is in physical contact with the seed layer and opposing sidewalls of the first buffer layer are aligned with opposing sidewalls of the seed layer.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Yu, Li-Zhen
Chuang, Cheng-Chi
Wang, Chih-Hao
Lin, Yu-Ming
Huang, Lin-Yu
Abrégé
In some embodiments, the present disclosure relates to an integrated chip that includes a substrate, a first contact layer, and a gate electrode. The first contact layer overlies the substrate and the gate electrode overlies the substrate and is laterally spaced from the first contact layer. A first spacer structure surrounds outermost sidewalls of the first contact layer and separates the gate electrode from the first contact layer. A first hard mask structure is arranged over the first contact layer and is between portions of the first spacer structure. A first contact via extends through the first hard mask structure and contacts the first contact layer. A first liner layer is arranged directly between the first hard mask structure and the first spacer structure.
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
64.
GATE STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FORMING SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Hsiao, Ru-Shang
Wang, Ying Ming
Lu, Ying Hsin
Abrégé
A semiconductor device and a method of forming the same are provided. A method includes forming a fin extending from a substrate. A sacrificial gate electrode layer is formed along a sidewall and a top surface of the fin. A patterning process is performed on the sacrificial gate electrode layer to form a sacrificial gate electrode. A reshaping process is performed on the sacrificial gate electrode to form a reshaped sacrificial gate electrode. The reshaped sacrificial gate electrode includes a first portion along the top surface of the fin and a second portion along the sidewall of the fin. A width of the first portion decreases as the first portion extends from a top surface of the first portion toward the top surface of the fin. A width of the second portion decreases as the second portion extends from the top surface of the fin toward the substrate.
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
65.
REDUCING PATTERN LOADING IN THE ETCH-BACK OF METAL GATE
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chang, Po-Chin
Wu, Wei-Hao
Lin, Li-Te
Lin, Pinyen
Abrégé
A method includes removing a dummy gate to leave a trench between gate spacers, forming a gate dielectric extending into the trench, depositing a metal layer over the gate dielectric, with the metal layer including a portion extending into the trench, depositing a filling region into the trench, with the metal layer have a first and a second vertical portion on opposite sides of the filling region, etching back the metal layer, with the filling region at least recessed less than the metal layer, and remaining parts of the portion of the metal layer forming a gate electrode, depositing a dielectric material into the trench, and performing a planarization to remove excess portions of the dielectric material. A portion of the dielectric material in the trench forms at least a portion of a dielectric hard mask over the gate electrode.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Tsai, Chung-Hao
Tang, Tzu-Chun
Wang, Chuei-Tang
Yu, Chen-Hua
Abrégé
A manufacturing method of a package structure includes: providing a carrier substrate with an integrated circuit (IC) die, where the IC die is disposed in a cavity of the carrier substrate, and a thermally conductive layer is formed in the cavity to separate the IC die from the carrier substrate; forming a redistribution structure on a first side of the carrier substrate, where the redistribution structure is electrically coupled to the IC die; forming an antenna pattern over the redistribution structure; forming a patterned dielectric layer with an opening on a second side of the carrier substrate opposite to the first side, where a portion of the second side of the carrier substrate is exposed by the opening; and forming an underfill to be in thermal contact with the carrier substrate, where the underfill extends outward beyond an edge of the carrier substrate.
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/29 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par le matériau
67.
Optical Lithography System and Method of Using the Same
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Kuo, Hung-Jui
Yu, Ting-Yang
Lee, Ming-Tan
Abrégé
In an embodiment, an apparatus includes an energy source, a support platform for holding a wafer, an optical path extending from the energy source to the support platform, and a photomask aligned such that a patterned major surface of the photomask is parallel to the force of gravity, where the optical path passes through the photomask, where the patterned major surface of the photomask is perpendicular to a topmost surface of the support platform.
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/10 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs ayant des conteneurs séparés
68.
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Tsai, Tsung-Han
Shen, Pin Chun
Lin, Ta-Chun
Liang, Chun-Sheng
Abrégé
A semiconductor device and a manufacturing method thereof are provided. The semiconductor device includes first semiconductor channel layers, second semiconductor channel layers, a dielectric wall, a gate structure, a source/drain electrode and an inner spacer. The first semiconductor channel layers are stacked vertically apart along a first direction over a substrate. The second semiconductor channel layers are stacked vertically apart along the first direction over the substrate. The dielectric wall is disposed between and separates the first semiconductor channel layers and the second first semiconductor channel layers, wherein the dielectric wall comprises a liner and a dielectric wall material disposed over the liner. The gate structure extends along a second direction perpendicular to the first direction disposed crossing over a channel region of the first fin structure and a channel region of the second fin structure. The source/drain electrode is in contact with the first semiconductor channel layers. The inner spacer is enclosed by the first semiconductor channel layers, the gate structure, the dielectric wall and the source/drain electrode, wherein the inner spacer is in contact with the dielectric wall material of the dielectric wall.
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lai, Ming-Fang
Wu, Yi-Hsun
Chang, Ching-Yun
Abrégé
An electrostatic discharge protection circuit includes an electrostatic discharge clamp between a first rail and a second rail, a trigger device configured to activate the electrostatic discharge clamp in response to an electrostatic discharge event, and a charge dissipation element between the first rail and the second rail to dissipate a residual charge at an input of the trigger device.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Hu, Yu-Hsiang
Liu, Chung-Shi
Kuo, Hung-Jui
Cheng, Ming-Da
Abrégé
A method includes forming an adhesive layer over a carrier, forming a sacrificial layer over the adhesive layer, forming through-vias over the sacrificial layer, and placing a device die over the sacrificial layer. The Method further includes molding and planarizing the device die and the through-vias, de-bonding the carrier by removing the adhesive layer, and removing the sacrificial layer.
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
H01L 21/288 - Dépôt de matériaux conducteurs ou isolants pour les électrodes à partir d'un liquide, p.ex. dépôt électrolytique
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
71.
METHOD OF MAKING AMPHI-FET STRUCTURE AND METHOD OF DESIGNING
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lai, Chih-Yu
Chen, Chih-Liang
Lu, Chi-Yu
Ciou, Shang-Syuan
Zhuang, Hui-Zhong
Tsai, Ching-Wei
Chang, Shang-Wen
Abrégé
A semiconductor device includes a substrate. The semiconductor device further includes a first gate structure on a first side of the substrate. The semiconductor device further includes a second gate structure on a second side of the substrate, wherein the first side is opposite the second side. The semiconductor device further includes a gate via extending through the substrate, wherein the gate via directly connects to the first gate structure, and the gate via directly connects to the second gate structure.
H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
G06F 30/392 - Conception de plans ou d’agencements, p.ex. partitionnement ou positionnement
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 21/822 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels pour produire des dispositifs, p.ex. des circuits intégrés, consistant chacun en une pluralité de composants le substrat étant un semi-conducteur, en utilisant une technologie au silicium
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Yu-Hung
Huang, Yu-Yi
Yu, Chih-Hao
Yen, Yu-Ting
Tai, Shih-Peng
Abrégé
Optical devices and methods of manufacture are presented in which a first mask is utilized for multiple purposes. Some methods include depositing a first mask over a support material, forming a concave surface in the support material through the first mask, and bonding the first mask to a first bonding layer over an optical interposer.
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
TSMC China Company Limited (Chine)
Inventeur(s)
Li, Xiaoguang
Zhang, Yifei
Wu, Jinping
Abrégé
A method for manufacturing wafers is provided, including: forming, according to a first control parameter, a first oxidation layer on each wafer of a first batch of wafers under a first atmospheric pressure; in response to receiving a process request corresponding to a second batch of wafers: detecting a second atmospheric pressure in the process tube; determining an atmospheric pressure change between the second atmospheric pressure and the first atmospheric pressure; selecting, according to a corresponding ratio of each of multiple process recipes, an acceptable process recipe among the process recipes; determining a thickness difference between the second thickness and the first thickness; generating a second control parameter according to the atmospheric pressure change, the thickness difference, and the first control parameter; and forming a second oxidation layer on each wafer of the second batch of wafers under the second pressure according to the second control parameter.
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chih, Yu-Der
Lin, Wen-Zhang
Chen, Yun-Sheng
Chang, Jonathan Tsung-Yung
Lin, Chrong-Jung
King, Ya-Chin
Lin, Cheng-Jun
Lee, Wang-Yi
Abrégé
A resistive memory device includes a bottom electrode, a top electrode and a resistance changing element. The top electrode is disposed above and spaced apart from the bottom electrode, and has a downward protrusion aligned with the bottom electrode. The resistance changing element covers side and bottom surfaces of the downward protrusion.
H10N 70/00 - Dispositifs à l’état solide sans barrière de potentiel ni de surface, spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la production d'oscillations ou à la commutation
H10B 63/00 - Dispositifs de mémoire par changement de résistance, p.ex. dispositifs RAM résistifs [ReRAM]
75.
SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURING THEREOF
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Wu, Chung-Shu
Lin, Tze-Chung
Chen, Shih-Chiang
Tsao, Hsiu-Hao
Lee, Chun-Hung
Abrégé
A method of fabricating a semiconductor device includes forming, over a substrate, alternating layers of a first semiconductor layer formed of a first semiconductor material and a second semiconductor layer formed of a second semiconductor material, the first semiconductor layers including a first, a second, and a third sub-layers; patterning the alternating layers of the first and the second semiconductor layers to form stacks of the alternating layers; and exposing, under etch conditions, lateral edges of the alternating layers to an etchant to selectively etch recesses in the lateral edges of the first, the second, and the third sub-layers, such that a first lateral depth of the first sub-layer is greater than a second lateral depth of the second sub-layer, and the second lateral depth of the second sub-layer is greater than a third lateral depth of the third sub-layer.
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiang, Kuo-Cheng
Liu, Chi-Wen
Leung, Ying-Keung
Abrégé
A device includes a first semiconductor strip, a first gate dielectric encircling the first semiconductor strip, a second semiconductor strip overlapping the first semiconductor strip, and a second gate dielectric encircling the second semiconductor strip. The first gate dielectric contacts the first gate dielectric. A gate electrode has a portion over the second semiconductor strip, and additional portions on opposite sides of the first and the second semiconductor strips and the first and the second gate dielectrics.
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
B82Y 10/00 - Nanotechnologie pour le traitement, le stockage ou la transmission d’informations, p.ex. calcul quantique ou logique à un électron
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/165 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, mis à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, seulement des éléments du groupe IV de la classification périodique, sous forme non combinée comprenant plusieurs des éléments prévus en dans différentes régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Cheng-Ming
Yeong, Sai-Hooi
Fang, Ziwei
Chui, Chi On
Chao, Huang-Lin
Abrégé
The present disclosure describes a device that is protected from the effects of an oxide on the metal gate layers of ferroelectric field effect transistors. In some embodiments, the device includes a substrate with fins thereon; an interfacial layer on the fins; a crystallized ferroelectric layer on the interfacial layer, and a metal gate layer on the ferroelectric layer.
H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
More, Shahaji B.
Abrégé
The present disclosure relates an integrated chip. The integrated chip may include a semiconductor substrate having sidewalls that form a first fin and a second fin. A dielectric material is arranged between the first fin and the second fin. A source/drain region is disposed on the first fin and the second fin. The source/drain region continuously extends from directly over the first fin to directly over the second fin. Fin spacers are arranged over the dielectric material and cover lower sidewalls of the source/drain region. The lower sidewalls include a first lower sidewall having a first height and a second lower sidewall that faces the first lower sidewall and that has a second height. The first height is different than the second height.
H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chang, Fu-Chen
Tu, Kuo-Chi
Chu, Wen-Ting
Abrégé
An integrated circuit device has an RRAM cell that includes a top electrode, an RRAM dielectric layer, and a bottom electrode having a surface that interfaces with the RRAM dielectric layer. Oxides of the bottom electrode are substantially absent from the bottom electrode surface. The bottom electrode has a higher density in a zone adjacent the surface as compared to a bulk region of the bottom electrode. The surface has a roughness Ra of 2 nm or less. A process for forming the surface includes chemical mechanical polishing followed by hydrofluoric acid etching followed by argon ion bombardment. An array of RRAM cells formed by this process is superior in terms of narrow distribution and high separation between low and high resistance states.
H10N 70/00 - Dispositifs à l’état solide sans barrière de potentiel ni de surface, spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la production d'oscillations ou à la commutation
H10B 63/00 - Dispositifs de mémoire par changement de résistance, p.ex. dispositifs RAM résistifs [ReRAM]
H10N 70/20 - Dispositifs de commutation multistables, p.ex. memristors
80.
ORGANIC INTERPOSER INCLUDING INTRA-DIE STRUCTURAL REINFORCEMENT STRUCTURES AND METHODS OF FORMING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Liao, Li-Ling
Yew, Ming-Chih
Hsu, Chia-Kuei
Yeh, Shu-Shen
Lin, Po-Yao
Jeng, Shin-Puu
Abrégé
An organic interposer includes dielectric material layers embedding redistribution interconnect structures, package-side bump structures located on a first side of the dielectric material layers, and die-side bump structures located on a second side of the dielectric material layers. A gap region is present between a first area including first die-side bump structures and a second area including second die-side bump structures. Stress-relief line structures are located on, or within, the dielectric material layers within an area of the gap region in the plan view. Each stress-relief line structures may include straight line segments that laterally extend along a respective horizontal direction and is not electrically connected to the redistribution interconnect structures. The stress-relief line structures may include the same material as, or may include a different material from, a metallic material of the redistribution interconnect structures or bump structures that are located at a same level.
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Fang, Wen-Han
Chen, Chang-Yin
Tai, Ming-Chia
Wu, Po-Chi
Abrégé
A method for forming a semiconductor device structure is provided. The method includes forming a dielectric layer over a substrate. The dielectric layer has a first trench over a first portion of the substrate and a second trench over a second portion of the substrate. The method includes forming a first work function layer in the first trench and the second trench. The method includes forming a first mask layer over the first work function layer in the first trench. The method includes removing the first work function layer exposed by the first mask layer. The method includes removing the first mask layer. The method includes forming a first gate electrode in the first trench and a second gate electrode in the second trench. The method includes forming a first hard mask layer in the first trench and a second hard mask layer in the second trench. A first thickness of the first hard mask layer increases toward the dielectric layer, the first gate electrode is in direct contact with the first hard mask layer, and a second thickness of the first gate electrode decreases toward the dielectric layer.
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
82.
DEVICE HAVING MULTIPHASE DIELECTRIC LAYER AND METHOD
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Liu, You Sheng
Chang, Yu-Kai
Liao, Pei-Chun
Huang, Yu-An
Abrégé
A device includes: a first electrode; a first interfacial layer in contact with the first electrode; a first insertion layer on the first interfacial layer, the first insertion layer having first orthorhombic-phase (O-phase) regions or first monoclinic-phase (M-phase) regions in a first area ratio that exceeds about 70%; a first dielectric layer on the first insertion layer, the first dielectric layer having tetragonal-phase (T-phase) regions in a second area ratio that exceeds those of second O-phase regions and second M-phase regions; a second insertion layer on the first dielectric layer, the second insertion layer having third O-phase regions or third M-phase regions in a third area ratio that exceeds about 70%; a second interfacial layer in contact with the second insertion layer, the second interfacial layer being a different material than the first interfacial layer; and a second electrode on the second interfacial layer.
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Shih, Yu-Lung
Li, Chao-Keng
Kuo, Alan
Chang, C. C.
Lin, Yi-An
Abrégé
A semiconductor device includes a conductive pad over an interconnect structure, wherein the conductive pad is electrically connected to an active device. The semiconductor device further includes a dielectric layer over the conductive pad, wherein the dielectric layer has a first conformity. The semiconductor device further includes a passivation layer over the dielectric layer, wherein the passivation layer has a second conformity different from the first conformity.
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chiang, Hung-Li
Wang, Jer-Fu
Cheng, Chao-Ching
Chen, Tzu-Chiang
Yeh, Chih-Chieh
Abrégé
A memory array and a structure of the memory array are provided. The memory array includes flash transistors, word lines and bit lines. The flash transistors are arranged in columns and rows. The flash transistors in each column are in serial connection with one another. The word lines are respectively coupled to gate terminals of a row of the flash transistors. The bit lines are respectively coupled to opposite ends of a column of the flash transistors. Band-to-band tunneling current at a selected flash transistor is utilized as read current during a read operation. The BTB tunneling current flows from one of the source/drain terminals of the selected flash transistor to the substrate, rather than flowing from one of the source/drain terminals to the other. As a result, charges stored in multiple programming sites of each flash transistor can be respectively sensed.
H10B 43/35 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
H01L 29/165 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, mis à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, seulement des éléments du groupe IV de la classification périodique, sous forme non combinée comprenant plusieurs des éléments prévus en dans différentes régions semi-conductrices
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Huang, Tzu-Sung
Hsieh, Cheng-Chieh
Lin, Hsiu-Jen
Tsai, Hui-Jung
Kuo, Hung-Yi
Tsai, Hao-Yi
Tseng, Ming-Hung
Lin, Yen-Liang
Lu, Chun-Ti
Weng, Chung-Ming
Abrégé
A package structure including a first semiconductor die, a second semiconductor die, first conductive pillars and a first insulating encapsulation is provided. The first semiconductor die includes a semiconductor substrate, an interconnect structure and a first redistribution circuit structure. The semiconductor substrate includes a first portion and a second portion disposed on the first portion. The interconnect structure is disposed on the second portion, the first redistribution circuit structure is disposed on the interconnect structure, and the lateral dimension of the first portion is greater than the lateral dimension of the second portion. The second semiconductor die is disposed on the first semiconductor die. The first conductive pillars are disposed on the first redistribution circuit structure of the first semiconductor die. The first insulating encapsulation is disposed on the first portion. The first insulating encapsulation laterally encapsulates the second semiconductor die, the first conductive pillars and the second portion.
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Shing-Chao
Hsieh, Ching-Hua
Lin, Chih-Wei
Yang, Sheng-Chieh
Abrégé
A package includes a redistribution structure, a bridge die, conductive pillars, connectors, a first die, first solder joints, and second solder joints. The bridge die includes a substrate, a dielectric layer disposed on the substrate, and routing patterns embedded in the dielectric layer. The conductive pillars are coupled to the redistribution structure at a position that is laterally offset from the bridge die. The connectors are coupled to the bridge die and the redistribution structure, such that the bridge die is electrically coupled to the redistribution structure through at least the connectors. The first solder joints are coupled to the redistribution structure and the first die, such that the first die is electrically coupled to the bridge die. The second solder joints are coupled to the redistribution structure and the first die, such that the first die is electrically coupled to the conductive pillars.
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des groupes principaux , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. circuit hybrides
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p.ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Huang, Sheng-Huang
Min, Chung-Chiang
Chuang, Harry-Hak-Lay
Wang, Hung Cho
Chen, Sheng-Chang
Abrégé
The present disclosure relates to an integrated chip in some embodiments. The integrated chip includes an inter-level dielectric (ILD) laterally surrounding a memory device. One or more sidewall spacers are arranged along opposing sides of the memory device. The one or more sidewall spacers have a bottom surface over a bottom of the memory device. An etch stop layer is disposed on the one or more sidewall spacers and along the opposing sides of the memory device. An upper interconnect is arranged directly over the memory device, a top surface of the one or more sidewall spacers, and an upper surface of the etch stop layer. The upper surface of the etch stop layer is vertically below a top of the memory device
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
G11C 5/06 - Dispositions pour interconnecter électriquement des éléments d'emmagasinage
G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin
H01L 21/3213 - Gravure physique ou chimique des couches, p.ex. pour produire une couche avec une configuration donnée à partir d'une couche étendue déposée au préalable
88.
SEMICONDUCTOR DEVICE AND A METHOD FOR FABRICATING THE SAME
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Hu, Chia-Hsin
Lin, Yu-Chiun
Chung, Yi-Hsuan
Hsieh, Chung-Peng
Yang, Chung-Chieh
Chen, Po-Nien
Abrégé
A semiconductor device includes a dummy fin structure disposed over a substrate, a dummy gate structure disposed over a part of the dummy fin structure, a first interlayer dielectric layer in which the dummy gate structure is embedded, a second interlayer dielectric layer disposed over the first interlayer dielectric layer, and a resistor wire formed of a conductive material and embedded in the second interlayer dielectric layer. The resistor wire overlaps the dummy gate structure in plan view.
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
89.
INTERCONNECTION STRUCTURE AND METHODS OF FORMING THE SAME
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Kuo, Chia-Pang
Lan, Jo-Lin
Yang, Chun Hsiang
Gao, Ming-Yuan
Lin, Chi-Feng
Abrégé
An interconnection structure and methods of forming the same are described. The interconnection structure includes a dielectric layer, a dielectric material disposed over the dielectric layer, and first and second conductive features disposed in the dielectric material. The first and second conductive features each has rounded top corners, the first conductive feature has a first width and a first height, and the second conductive feature has a second width substantially less than the first width and a second height substantially the same as the first height. The structure further includes an etch stop layer disposed on the first and second conductive features and third and fourth conductive features disposed in the dielectric material and the etch stop layer. The third conductive feature is in contact with the first conductive feature, and the fourth conductive feature is in contact with the second conductive feature.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chou, Chung-Pin
Abrégé
Wafer inspection apparatuses and methods are described. The wafer inspection apparatus includes an optical module, at least one wafer holder for carrying a plurality of wafers, and a plurality of optical sensors. The optical module is configured to emit a plurality of light beams for simultaneously scanning the plurality of wafers carried by the at least one wafer holder. The plurality of optical sensors is configured to receive the light beams reflected by the plurality of wafers.
G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
G01B 11/30 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
91.
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chou, Chun-Ting
Abrégé
A method includes forming a gate dielectric layer and a dummy gate layer; forming a mask over the dummy gate layer; patterning the gate dielectric layer and the dummy gate layer to form a dummy gate structure, the dummy gate structure including a remaining portion of the gate dielectric layer and a remaining portion of the dummy gate layer; epitaxially growing a first spacer layer on the dummy gate structure and the substrate, in which the first spacer layer has a higher growth rate on the exposed surfaces of the dummy gate structure and the substrate than on exposed surfaces of the mask; doping the first spacer layer to form a doped spacer layer having a different lattice constant than the substrate; depositing a second spacer layer over the doped spacer layer; and etching the second spacer layer and the doped spacer layer to form a gate spacer.
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
92.
SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURING THEREOF
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Tsai, Ya-Yi
Chen, Yi-Chun
Chen, Wei-Han
Guo, Wei-Ting
Ku, Shu-Yuan
Abrégé
A semiconductor device includes a semiconductor substrate; an isolation region disposed on the semiconductor substrate; a plurality of dummy fins disposed over the isolation region and partially extending into the isolation region; and a dielectric material disposed between the plurality of dummy fins, and partially extending through the isolation region and partially into the semiconductor substrate.
H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
93.
SYSTEM AND METHOD FOR CONDUCTING BUILT-IN SELF-TEST OF MEMORY MACRO
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Wong, Ted
Adham, Saman
Gershoig, Marat
Abrégé
Performing a built-in self-test (BIST) on a memory macro includes generating a plurality of input vectors. One input vector is transmitted to the memory macro in each of a plurality of cycles. Each of the plurality of input vectors is associated with a bit width. Generating the input vector includes generating a partial input vector of half the bit width and transmitting the partial input vector to each of a first half of the memory macro and a second half of the memory macro. The method also includes receiving, in each of the plurality of cycles, an output data from the memory macro, such that the output data is generated by the memory macro in response to processing the partial input vector, comparing the output data with a signature value, and determining whether the memory macro is normal or faulty based upon the comparison.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Shih, Che Chi
Yu, Chia-Hao
Woon, Wei-Yen
Liao, Szuya
Abrégé
Semiconductor structures and methods of forming the same are provided. An exemplary method includes forming a stack over a substrate and patterning the stack and a portion of the substrate to form a fin-shaped structure comprising a base portion formed from the substrate and a top portion formed from the stack. The stack includes channel layers interleaved by sacrificial layers and two-dimensional (2D) material layers disposed between adjacent ones of the channel layers and the sacrificial layers. The method also includes selectively removing the sacrificial layers of the top portion to form a plurality of channel members disposed over the base portion, forming a first gate structure and a second gate structure above the first gate structure. The first gate structure wraps around a bottom portion of the channel members. The second gate structure wraps around a top portion of the channel members.
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/18 - Sélénium ou tellure uniquement, mis à part les matériaux de dopage ou autres impuretés
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Chien-Chen
Wu, Shang Lin
Chung, Yen Lin
Chung, Chia-Che
Abrégé
An integrated circuit device includes a first transistor having a first-type channel and a second transistor having a second-type channel at a front side of a substrate. The first transistor is stacked over the second transistor. The integrated circuit device also includes a power line connected to a source terminal of the first transistor. The first transistor has a gate terminal configured to receive a control signal and has a drain terminal connected to both a gate terminal and a drain terminal of the second transistor. The integrated circuit device further includes a memory power line connected to a source terminal of the second transistor and a memory circuit configured to receive a supply voltage from the memory power line.
G11C 11/4074 - Circuits d'alimentation ou de génération de tension, p.ex. générateurs de tension de polarisation, générateurs de tension de substrat, alimentation de secours, circuits de commande d'alimentation
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Chen-Shien
Hsu, Kuo-Ching
Lin, Wei-Hung
Huang, Hui-Min
Cheng, Ming-Da
Lii, Mirng-Ji
Abrégé
A method includes forming a reconstructed package substrate, which includes placing a plurality of substrate blocks over a carrier, encapsulating the plurality of substrate blocks in an encapsulant, planarizing the encapsulant and the plurality of substrate blocks to reveal redistribution lines in the plurality of substrate blocks, and forming a redistribution structure overlapping both of the plurality of substrate blocks and encapsulant. A package component is bonded over the reconstructed package substrate.
H01L 23/31 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/56 - Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
97.
DEVICE LAYOUT DESIGN FOR IMPROVING DEVICE PERFORMANCE
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chang, Shih-Pang
Wu, Haw-Yun
Chang, Yao-Chung
Tsai, Chun-Lin
Abrégé
The present disclosure relates an integrated chip. The integrated chip includes an isolation region disposed within a substrate and surrounding an active area. A gate structure is disposed over the substrate and has a base region and a gate extension finger protruding outward from a sidewall of the base region along a first direction to past opposing sides of the active area. A source contact and a drain contact are disposed within the active area. The drain contact is separated from the source contact by the gate extension finger. A first plurality of conductive contacts are arranged on the gate structure. The first plurality of conductive contacts are separated along the first direction by distances overlying the gate extension finger.
H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
98.
NANOSTRUCTURE FIELD-EFFECT TRANSISTOR DEVICE AND METHODS OF FORMING
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Lin, Tzu-Ging
Yang, Shun-Hui
Chen, Yen Ju
Wu, Yun-Chen
Lai, Chun-Liang
Abrégé
A method of forming a semiconductor device includes: forming a dummy gate structure over a first fin and around first channel regions that are disposed over the first fin; forming an interlayer dielectric (ILD) layer over the first fin around the dummy gate structure; replacing the dummy gate structure with a gate structure; forming a first dielectric plug and a second dielectric plug in the gate structure on opposing sides of the first fin, where the first and second dielectric plugs cut the gate structure into a plurality of segments separated from each other; removing a segment of the gate structure interposed between the first dielectric plug and the second dielectric plugs to expose the first channel regions; removing the exposed first channel regions, where after removing the exposed first channel regions, a recess is formed in the ILD layer; and filling the recess with a dielectric material.
H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
99.
MAGNETIC DEVICE STRUCTURE AND METHODS OF FORMING THE SAME
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Jui-Lin
Su, Hsin-Wen
Lin, Shih-Hao
Lu, Po-Sheng
Wang, Chenchen Jacob
Chang, Yuan Hao
Wang, Ping-Wei
Abrégé
A magnetic device structure is provided. In some embodiments, the structure includes one or more first transistors, a magnetic device disposed over the one or more first transistors, a plurality of magnetic columns surrounding sides of the one or more first transistors and the magnetic device, a first magnetic layer disposed over the magnetic device and in contact with the plurality of magnetic columns, and a second magnetic layer disposed below the one or more first transistors and in contact with the plurality of magnetic columns.
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (Taïwan, Province de Chine)
Inventeur(s)
Chen, Hsien-Wei
Chen, Ming-Fa
Abrégé
A semiconductor structure including a first semiconductor die and a second semiconductor die is provided. The first semiconductor die includes a first bonding structure. The second semiconductor die is bonded to the first bonding structure of the first semiconductor die. The first bonding structure includes a first dielectric layer, a second dielectric layer covering the first dielectric layer, and first conductors embedded in the first dielectric layer and the second dielectric layer, wherein each of the first conductors includes a first conductive barrier layer covering the first dielectric layer and a first conductive pillar disposed on the first conductive barrier layer, and the first conductive pillars are in contact with the second dielectric layer.
H01L 23/00 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS NON COUVERTS PAR LA CLASSE - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide